【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及管路测试，更具体的说是涉及一种针对复杂气体管路调压阀的测试系统和方法。
技术介绍
1、目前，半导体工艺对气体纯度和压力控制的要求极高，调压阀作为压力调节部件，在选择与应用上尤为重要；每种调压阀根据具体管路的特性进行精确选型与配置，以确保气体在传输过程中的稳定性与准确性。
2、但是，以往的气体管路测试，由于不同管路可能承载着不同种类、不同压力等级的气体，其各管路之间的连接与调控方式也各不相同，往往需要不同的测试系统；即使同一款减压阀，也因测试项目不同，而需要搭建不同的测试平台。而搭建这些测试平台不但耗时久，且用于搭建的工装重复利用率低。最后，因为工装部件较多，在反复拆装过程中容易出现密封不严或端面受损等情况，最终导致测试质量下降的情况频出。
3、因此，如何针对已有的减压阀产品和给出的复杂气体管路系统，快速设计一套通用性好、可控制性强、测试效果不单一，能针对复杂气体管路调压阀进行测试的系统和方法，是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此...
【技术保护点】
1.一种针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，包括：多个气体管路、供气模块、抽气模块和主控模块；
2.根据权利要求1所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述主控模块包括主控制器和阀岛，所述主控制器通过所述阀岛对所述待测件两侧气阀的启闭状态进行集成控制。
3.根据权利要求1所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述多个气体管路至少通过两个综合气路钉耙分别与所述抽气模块和所述供气模块连接。
4.根据权利要求3所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述综合气路钉耙为一体式结构。
<...【技术特征摘要】
1.一种针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，包括：多个气体管路、供气模块、抽气模块和主控模块；
2.根据权利要求1所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述主控模块包括主控制器和阀岛，所述主控制器通过所述阀岛对所述待测件两侧气阀的启闭状态进行集成控制。
3.根据权利要求1所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述多个气体管路至少通过两个综合气路钉耙分别与所述抽气模块和所述供气模块连接。
4.根据权利要求3所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述综合气路钉耙为一体式结构。
5.根据权利要求3所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述综合气路钉耙为分体式结构，包括：一个主气路、多个支气路和一个连接气路，所述主气路和所述多个支气路在所述连接气路的两侧，所述连接气路将所述主气路和所述多个支气路连通；
6.根据权利要求3所述的针对复杂气体管路调压阀的测试系统，其特征在于，所述综合气路钉耙的多个所述支气路分别通过一个转接头实现与所述多个气体管路上一侧所述气阀的密封连接，所述综合气...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐英，颜廷运，
申请(专利权)人：星奇上海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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