活塞衬套制造技术

本申请提供一种活塞衬套，用于气动执行器中引导活塞的运动，包括：活塞衬套本体及在活塞衬套本体上设置的密封圈；活塞衬套本体设置有中空孔；活塞从活塞衬套本体的一端套设于所述中空孔中；活塞衬套本体的另一端与气动执行器接触设置，存在接触面；接触面上设置第一沟槽，第一沟槽中设置接触面密封圈。实现活塞衬套与气动执行器之间接触面的软接触，在保证接触力的同时，减少了衬套与气动执行器接触零件的磨损；且该软接触的方式更接近活塞衬套与气动执行器直接接触部分，因此在安装过程中，减少安装难度，容差更大。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造，具体而言涉及一种活塞衬套。

技术介绍

1、活塞衬套在半导体制作过程中作为连接零件对工艺生产具有重要的意义。由于半导体工艺更高精密度的要求，传统机械中的活塞衬套无法满足半导体制造的生产需求。

2、如活塞衬套作为半导体生产气动流控装置中气动执行器的零件，其主要功能在于引导活塞运动，实现阀体密封。然而现有技术中常见的活塞衬套使用硬接触的方式设计安装，这种形式对接触面的磨损较大，同时对安装要求较高，若安装时产生倾斜，会对活塞运动产生较大的阻力，同时，由于倾斜，气动执行器与活塞的接触面积会变少，阀体密封性降低。

3、因此，需要一种活塞衬套的新方案。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种活塞衬套。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：

3、本说明书实施例提供一种活塞衬套，用于气动执行器中引导活塞的运动，包括：

4、活塞衬套本体及在活塞衬套本体上设置的密封圈；

5、活塞衬套本体设置有中空孔；>

6、活塞从活本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种活塞衬套，用于气动执行器中引导活塞的运动，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的活塞衬套，其特征在于，所述第一沟槽设置于所述接触面的边缘处。

3.根据权利要求1所述的活塞衬套，其特征在于，所述第一沟槽设置为环形。

4.根据权利要求1所述的活塞衬套，其特征在于，所述接触面密封圈包括以下一种：O型密封圈、Y型密封圈、V型密封圈。

5.根据权利要求1中所述的活塞衬套，其特征在于，所述第一沟槽的截面形状包括以下一种：矩形、V形、半圆形和燕尾形。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的活塞衬套，其特征在于，所述活塞衬套本体上还...

【技术特征摘要】

1.一种活塞衬套，用于气动执行器中引导活塞的运动，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的活塞衬套，其特征在于，所述第一沟槽设置于所述接触面的边缘处。

3.根据权利要求1所述的活塞衬套，其特征在于，所述第一沟槽设置为环形。

4.根据权利要求1所述的活塞衬套，其特征在于，所述接触面密封圈包括以下一种：o型密封圈、y型密封圈、v型密封圈。

5.根据权利要求1中所述的活塞衬套，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓建龙，杨宗明，
申请(专利权)人：星奇上海半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：