协伟集成电路设备上海有限公司专利技术

协伟集成电路设备上海有限公司共有39项专利

  • 本实用新型公开了一种用于抽气泵的限位脚,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本限位脚的设计依据防震规范来进行设计,通过使用本限位脚,使得抽气泵在运行时,其设备在水平方向的移动得以限制,从而减小抽气泵在水平方向的移...
  • 本实用新型公开了一种用于洁净室的不锈钢视察地板,包括常规高架地板、常规视窗地板、不锈钢面板、亚克力盖板、定位脚、不锈钢底框矩形管、不锈钢中框矩形管和矩形开槽;可以满足工作人员在检查仪表时,可以直接通过视窗进行仪表观察以及阀门检查;同时在...
  • 本实用新型公开了一种用于防静电高架地板的过桥支撑脚,包括站脚底板、槽钢站脚、槽钢横梁、支撑头、螺纹杆、螺帽、圆形封头铁板、圆管和锁紧螺栓等;本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,通过本实用新型的过桥支撑脚,用于被切...
  • 本实用新型公开了一种用于精密仪器的弹簧基座,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,通过设置本实用新型的弹簧座,使得上述类型的基座保持在垂直方向上的一定范围内上下移动,保证上述类型的基座保持在水平方向上的移动得到很大...
  • 本实用新型公开了一种用于洁净室的真空阀地板,包括安全盖、真空阀、真空阀盖、真空阀吸尘管路连接头、铰链、保险箱和真空阀地板框架;本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,采用本实用新型替换原高架地板,来实现方便的真空除尘...
  • 本实用新型公开了一种用于电子工业厂内精密仪器设备的防震脚固定结构,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本防震脚固定结构设计依据防震规范来进行设计,通过使用本实用新型的防震脚固定结构,使得直接安装在高架地板上的精密...
  • 本实用新型公开了一种用于洁净室的防静电高架地板的视窗地板,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,在正确安装之后,工作人员在检查仪表时,可以直接通过高架地板视窗进行仪表观察以及阀门检查;同时在阀门检修以及维修时,直接...
  • 本实用新型公开了一种用于精密仪器的Z型防震脚,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本实用新型防震脚的设计采用Z字型结构,且内外侧均设置加强筋板,从而有效防震,通过使用实用新型的防震脚,使得精密仪器设备在地震时,能...
  • 本实用新型公开了一种用于光刻机的镭射架,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,采用镭射架的镭射架上部连接板和镭射架下部连接板上的连接杆对光刻机镭射管进行水平方向支撑,从而抑制住镭射管在水平方向的震动,确保光刻机本身...
  • 本实用新型公开了一种用于干式和沉浸式光刻机防微振基础座,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,能满足该光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求,以及提供其配套设备的安装环境,确保了中国内陆地区在引进干式和沉浸式光刻机的...
  • 本实用新型公开了一种用于极紫外光光刻机的基础座,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,能满足极紫外光光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求,以及提供其配套设备的安装环境,确保了中国内陆地区在引进极紫外光光刻机的时候,...
  • 本实用新型公开了一种用于精密仪器的承重框架基础座,采用简化的设计和经济的成本而达到精密仪器设备需承载的技术要求,而且满足其安装位置较高的问题,并且对基座下发空间给予最大的利用,便于该设备配套管路的安装;通过本实用新型的承重框架结构来达到...
  • 本实用新型公开了一种用于洁净室的高架地板的支撑脚,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,采用可移动、可调节高度、安装方便、灵活性强的支撑脚根据高架地板被切割的现状对其进行支撑,从而保证了高架地板在其原有的允许承载下...
  • 本实用新型公开了一种用于洁净室的龙门吊架,包括横梁、横梁固定卡扣、内立柱方管、外立柱方管、滚轮底座、吊装套筒、液压缸和吊装葫芦;本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本实用新型组装简单,易操作,以及无粉尘产生,实现...
  • 一种用于精密仪器的钢结构基座
    本实用新型公开了一种用于精密仪器的钢结构基座,其包括钢结构框体和多个钢结构支撑脚,每个钢结构支撑脚的顶端均与钢结构框体的底部采用可拆卸式固定连接。本实用新型所述的用于精密仪器的钢结构基座,具有制作工艺简单,安装和运输方便,制作成本低,对...
  • 一种用于精密仪器的防微振支撑脚
    本实用新型公开了一种用于精密仪器的防微振支撑脚,其包括支撑面和支撑柱,所述支撑面的下部设有螺纹杆,在所述螺纹杆上套设有定位螺纹环,在所述支撑柱的上部设有用于与所述螺纹杆螺纹连接的相适配的内螺纹孔,在所述支撑柱的上端设有与所述定位螺纹环相...
  • 一种用于精密仪器的防微振基座
    本实用新型公开了一种用于精密仪器的防微振基座,其包括基座本体和若干用于与精密仪器固定连接的钢铁配件,所述基座本体是由钢板框体与钢筋结构和混凝土构成,若干钢铁配件均嵌设在基座本体的顶面上,所述基座本体内设有数个空腔,所述空腔的开口位于基座...
  • 一种高架地板的可掀式维修窗口,其在高架地板上设有一个以上的框架,框架内侧壁处均设有一支撑部件;其特征是门板嵌置在框架内,框架内的支撑架将门板支撑住,所述门板由一透明板件和一底板组成,门板边缘与框架边缘通过一组以上活动组件接合,底板上设有...
  • 一种活动式滚动弯管器,其特征在于,其由上施力杆、下施力杆、弯曲模、底座、转向装置、活动曲柄、两组转轴及固锁装置构成,所述上施力杆为长圆柱体,杆头设置在转向装置内,可沿弯曲模的弧度转动;所述下施力杆为长圆柱体,杆头成一斜向平面状,其设置在...