一种用于抽气泵的限位脚制造技术

技术编号:20357870 阅读:21 留言:0更新日期:2019-02-16 14:26
本实用新型专利技术公开了一种用于抽气泵的限位脚,本实用新型专利技术具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本限位脚的设计依据防震规范来进行设计,通过使用本限位脚,使得抽气泵在运行时,其设备在水平方向的移动得以限制,从而减小抽气泵在水平方向的移位,进一步减弱抽气泵的输气管的震动,从而避免了抽气泵自身震动对其他设备的影响,从而改善了抽气泵正常工作的环境,以及确保了其他设备正常运转;同时也使设备需要维修工作变得便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于抽气泵的限位脚
本技术涉及无尘室中抽气泵
,特别涉及一种用于抽气泵的限位脚。
技术介绍
在电子厂特别是在半导体厂,由于抽气泵应用较为频繁,也较为精密,其中抽气泵的稳定性尤为重要;由于抽气泵本身在工作时会产生震动,所以该设备极为不稳定。但是由于抽气泵本身设计的特点,其垂直方向由于重力作用而基本上能克服其垂直方向的震动。但是抽气泵本身运转也会产生水平方向的震动,从而使抽气泵会左右前后晃动,长期的水平晃动会导致输气管的连接头部分产生疲劳损坏现象。另外,由于输气管的水平方向的晃动会进一步把其震动传递到其他精密仪器,从而导致其他精密仪器被其输气管的震动所干扰,从而破坏了其他精密仪器的正常工作,进一步对其产品质量会造成很大影响。同时抽气泵也是维修较为频繁的设备,经常需要移动该设备去进行维修。所以需要专利技术一种固定结构,对其水平方向进行限位以及便于拆卸的固定结构,从而确保抽气泵本身以及与其连接的精密仪器能最佳状态运转。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题,而提供一种用于抽气泵的限位脚。为了解决上述问题,本技术提供了一种技术方案:一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵和安装平台,所述抽气泵设置在安装平台上,其创新点在于:还包括限位脚;所述限位脚的具体结构为:包括限位脚站脚、限位脚锁紧螺栓、限位脚活动板、固定螺栓、限位脚站脚底板和限位板;所述限位脚站脚呈L型状,所述限位脚站脚固定连接在限位脚站脚底板上表面的上;所述限位脚站脚上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓连接有一个限位脚活动板,所述限位脚活动板与水平面相互平行;所述限位脚活动板下方设有一个用于限位的限位板,所述限位板固定连接在限位脚站脚的外侧面上;所述限位脚站脚底板中连接有两个相互间隔的固定螺栓;所述抽气泵和安装平台与限位脚之间的具体连接关系为:所述限位脚为两个,所述限位脚设置在抽气泵的对角线两侧;所述限位脚通过两个固定螺栓固定连接在安装平台上,两个所述限位脚上的限位脚活动板抵住抽气泵的前、后两个侧面,两个所述限位脚上的限位脚站脚抵住抽气泵的左、右两个侧面。作为优选,所述限位脚为不锈钢材质。作为优选,所述限位脚站脚底板呈矩形状。本技术的有益效果:本技术具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本限位脚的设计依据防震规范来进行设计,通过使用本限位脚,使得抽气泵在运行时,其设备在水平方向的移动得以限制,从而减小抽气泵在水平方向的移位,进一步减弱抽气泵的输气管的震动,从而避免了抽气泵自身震动对其他设备的影响,从而改善了抽气泵正常工作的环境,以及确保了其他设备正常运转;同时也使设备需要维修工作变得便捷。附图说明为了易于说明,本技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。图1为常规抽气泵安装示意图。图2为本技术的结构示意图。图3为本技术的细节结构示意图。图4为本技术的C部放大结构示意图。图5为本技术的B部放大结构示意图。图6为本技术限位脚的结构示意图。图7为本技术限位脚的结构示意图。1-抽气泵;2-安装平台;3-限位脚;31-限位脚站脚;32-限位脚锁紧螺栓;33-限位脚活动板;34-固定螺栓;35-限位脚站脚底板;36-限位板。具体实施方式如图2至图7所示,本具体实施方式采用以下技术方案:一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵1和安装平台2,所述抽气泵1设置在安装平台2上,还包括限位脚3;所述限位脚3的具体结构为:包括限位脚站脚31、限位脚锁紧螺栓32、限位脚活动板33、固定螺栓34、限位脚站脚底板35和限位板36;所述限位脚站脚31呈L型状,所述限位脚站脚31固定连接在限位脚站脚底板35上表面的上;所述限位脚站脚31上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓32连接有一个限位脚活动板33,所述限位脚活动板33与水平面相互平行;所述限位脚活动板33下方设有一个用于限位的限位板36,所述限位板36固定连接在限位脚站脚31的外侧面上;所述限位脚站脚底板35中连接有两个相互间隔的固定螺栓34;所述抽气泵1和安装平台2与限位脚3之间的具体连接关系为:所述限位脚3为两个,所述限位脚3设置在抽气泵1的对角线两侧;所述限位脚3通过两个固定螺栓34固定连接在安装平台2上,两个所述限位脚3上的限位脚活动板33抵住抽气泵1的前、后两个侧面,两个所述限位脚3上的限位脚站脚31抵住抽气泵1的左、右两个侧面。其中,所述限位脚3为不锈钢材质;所述限位脚站脚底板35呈矩形状。本技术的使用状态为:使用时,两个限位脚活动板33抵住抽气泵1的前、后两个侧面,两个限位脚站脚31抵住抽气泵1的左、右两个侧面,从而减小抽气泵1在水平方向的移位,当需要对抽气泵1检修时,转动限位脚活动板33,使得限位脚活动板33不抵住抽气泵1,即可移出抽气泵1进行检修。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内,本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵(1)和安装平台(2),所述抽气泵(1)设置在安装平台(2)上,其特征在于:还包括限位脚(3);所述限位脚(3)的具体结构为:包括限位脚站脚(31)、限位脚锁紧螺栓(32)、限位脚活动板(33)、固定螺栓(34)、限位脚站脚底板(35)和限位板(36);所述限位脚站脚(31)呈L型状,所述限位脚站脚(31)固定连接在限位脚站脚底板(35)上表面的上;所述限位脚站脚(31)上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓(32)连接有一个限位脚活动板(33),所述限位脚活动板(33)与水平面相互平行;所述限位脚活动板(33)下方设有一个用于限位的限位板(36),所述限位板(36)固定连接在限位脚站脚(31)的外侧面上;所述限位脚站脚底板(35)中连接有两个相互间隔的固定螺栓(34);所述抽气泵(1)和安装平台(2)与限位脚(3)之间的具体连接关系为:所述限位脚(3)为两个,所述限位脚(3)设置在抽气泵(1)的对角线两侧;所述限位脚(3)通过两个固定螺栓(34)固定连接在安装平台(2)上,两个所述限位脚(3)上的限位脚活动板(33)抵住抽气泵(1)的前、后两个侧面,两个所述限位脚(3)上的限位脚站脚(31)抵住抽气泵(1)的左、右两个侧面。...

【技术特征摘要】
1.一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵(1)和安装平台(2),所述抽气泵(1)设置在安装平台(2)上,其特征在于:还包括限位脚(3);所述限位脚(3)的具体结构为:包括限位脚站脚(31)、限位脚锁紧螺栓(32)、限位脚活动板(33)、固定螺栓(34)、限位脚站脚底板(35)和限位板(36);所述限位脚站脚(31)呈L型状,所述限位脚站脚(31)固定连接在限位脚站脚底板(35)上表面的上;所述限位脚站脚(31)上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓(32)连接有一个限位脚活动板(33),所述限位脚活动板(33)与水平面相互平行;所述限位脚活动板(33)下方设有一个用于限位的限位板(36),所述限位板(36)固定连接在限位脚站脚(3...

【专利技术属性】
技术研发人员:何成伟
申请(专利权)人:协伟集成电路设备上海有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

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