【技术实现步骤摘要】
一种用于抽气泵的限位脚
本技术涉及无尘室中抽气泵
,特别涉及一种用于抽气泵的限位脚。
技术介绍
在电子厂特别是在半导体厂,由于抽气泵应用较为频繁,也较为精密,其中抽气泵的稳定性尤为重要;由于抽气泵本身在工作时会产生震动,所以该设备极为不稳定。但是由于抽气泵本身设计的特点,其垂直方向由于重力作用而基本上能克服其垂直方向的震动。但是抽气泵本身运转也会产生水平方向的震动,从而使抽气泵会左右前后晃动,长期的水平晃动会导致输气管的连接头部分产生疲劳损坏现象。另外,由于输气管的水平方向的晃动会进一步把其震动传递到其他精密仪器,从而导致其他精密仪器被其输气管的震动所干扰,从而破坏了其他精密仪器的正常工作,进一步对其产品质量会造成很大影响。同时抽气泵也是维修较为频繁的设备,经常需要移动该设备去进行维修。所以需要专利技术一种固定结构,对其水平方向进行限位以及便于拆卸的固定结构,从而确保抽气泵本身以及与其连接的精密仪器能最佳状态运转。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题,而提供一种用于抽气泵的限位脚。为了解决上述问题,本技术提供了一种技术方案:一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵和安装平台,所述抽气泵设置在安装平台上,其创新点在于:还包括限位脚;所述限位脚的具体结构为:包括限位脚站脚、限位脚锁紧螺栓、限位脚活动板、固定螺栓、限位脚站脚底板和限位板;所述限位脚站脚呈L型状,所述限位脚站脚固定连接在限位脚站脚底板上表面的上;所述限位脚站脚上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓连接有一个限位脚活动板,所述限位脚活动板与水平面相互平行;所述限位脚活动板下方设有一个用于限位的限位板 ...
【技术保护点】
1.一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵(1)和安装平台(2),所述抽气泵(1)设置在安装平台(2)上,其特征在于:还包括限位脚(3);所述限位脚(3)的具体结构为:包括限位脚站脚(31)、限位脚锁紧螺栓(32)、限位脚活动板(33)、固定螺栓(34)、限位脚站脚底板(35)和限位板(36);所述限位脚站脚(31)呈L型状,所述限位脚站脚(31)固定连接在限位脚站脚底板(35)上表面的上;所述限位脚站脚(31)上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓(32)连接有一个限位脚活动板(33),所述限位脚活动板(33)与水平面相互平行;所述限位脚活动板(33)下方设有一个用于限位的限位板(36),所述限位板(36)固定连接在限位脚站脚(31)的外侧面上;所述限位脚站脚底板(35)中连接有两个相互间隔的固定螺栓(34);所述抽气泵(1)和安装平台(2)与限位脚(3)之间的具体连接关系为:所述限位脚(3)为两个,所述限位脚(3)设置在抽气泵(1)的对角线两侧;所述限位脚(3)通过两个固定螺栓(34)固定连接在安装平台(2)上,两个所述限位脚(3)上的限位脚活动板(33)抵住抽气泵(1)的前、后两个侧面,两 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵(1)和安装平台(2),所述抽气泵(1)设置在安装平台(2)上,其特征在于:还包括限位脚(3);所述限位脚(3)的具体结构为:包括限位脚站脚(31)、限位脚锁紧螺栓(32)、限位脚活动板(33)、固定螺栓(34)、限位脚站脚底板(35)和限位板(36);所述限位脚站脚(31)呈L型状,所述限位脚站脚(31)固定连接在限位脚站脚底板(35)上表面的上;所述限位脚站脚(31)上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓(32)连接有一个限位脚活动板(33),所述限位脚活动板(33)与水平面相互平行;所述限位脚活动板(33)下方设有一个用于限位的限位板(36),所述限位板(36)固定连接在限位脚站脚(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:何成伟,
申请(专利权)人:协伟集成电路设备上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。