一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于安装NXT

【技术实现步骤摘要】
一种用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座


[0001]本技术是涉及一种安装光刻机的基础座，具体说，是涉及一种用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座，属于光刻机安装


技术介绍

[0002]在电子工业厂内特别是在半导体行业中，NXT
‑
MK2光刻机是在原有NXT光刻机基础上进行了安装方式的更改(MK2表示安装方式)，是该行业中最为昂贵和最为精密的设备之一，对半导体产品制造工艺水平的高低有着关键性影响。
[0003]NXT
‑
MK2光刻机对安装条件的要求极为严格，目前中国内陆的电子工业厂，特别是半导体厂，该设备并没有普及使用。一方面是因为其价格昂贵，另外一方面是因为NXT
‑
MK2光刻机对基础座的制作精度和刚性要求极其严格，由此导致中国内陆地区目前半导体制造工艺水平提升缓慢，从而影响了国内半导体行业的整体制造工艺水平提升的步伐。因此，有必要开发出一种可用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的上述问题和需求，本技术的目的是提供一种用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，所述IF基础座和WHSF基础座分别设于MBSF基础座的左右两侧；<br/>[0007]所述MBSF基础座的具体结构为：包括MBSF基础座RC面体；所述MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件，所述MBSF基础座防震脚配件组件包括：一个圆环形的MBSF基础座防震脚配件、一个卡设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件的顶部中心的圆柱形的MBSF基础座防震脚配件、一个设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件一侧的长方体状的MBSF基础座防震脚配件；所述MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。
[0008]一种实施方案，所述MBSF基础座防震脚配件组件还包括一个圆形的MBSF基础座防震脚配件、两个分别对称设于圆形的MBSF基础座防震脚配件的左右两侧且互相衔接的MBSF基础座防震脚配件，所述圆形的MBSF基础座防震脚配件位于长方体状的MBSF基础座防震脚配件远离圆环形的MBSF基础座防震脚配件的一侧、靠近MBSF基础座RC面体的外侧。
[0009]一种实施方案，所述MBSF基础座防震脚配件组件中的每一个MBSF基础座防震脚配件上均设有用于安装螺丝的安装孔，且安装孔内均设有螺纹衬套。
[0010]一种实施方案，所述IF基础座的具体结构为：包括IF基础座主面板；
[0011]所述IF基础座主面板的上表面左侧设有第二IF基础座面板活动板、第三IF基础座面板活动板、第四IF基础座面板活动板、第五IF基础座面板活动板和第六IF基础座面板活
动板；
[0012]所述IF基础座主面板的上表面右侧设有第十IF基础座面板活动板；
[0013]所述IF基础座主面板的上表面中端位置上设有第一IF基础座面板活动板、第七IF基础座面板活动板、第八IF基础座面板活动板和第九IF基础座面板活动板；
[0014]所述IF基础座主面板的下表面上设有第一IF基础座支撑立柱、第二IF基础座支撑立柱、第三IF基础座支撑立柱、第四IF基础座支撑立柱、第五IF基础座支撑立柱和第六IF基础座支撑立柱；所述第四IF基础座支撑立柱与IF基础座主面板之间连接有一个L形不锈钢配件；所述IF基础座主面板外侧表面四周上设有IF基础座钢构框架；所述IF基础座主面板下表面上连接有一个不锈钢连接件。
[0015]一种实施方案，所述WHSF基础座的具体结构为：包括WHSF基础座RC面体，所述WHSF基础座RC面体的上表面的前后两侧均设有一个WHSF基础座防震脚配件，所述WHSF基础座RC面体的上表面上设有一个WHSF基础座测试点内嵌铁块，所述WHSF基础座RC面体的外侧表面的四周上均设有一个WHSF基础座内嵌配件C型钢。
[0016]相较于现有技术，本技术的有益技术效果在于：
[0017]本技术提供的用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座，能满足NXT
‑
MK2光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求及其配套设备的安装环境，能够提供NXT
‑
MK2光刻机正常运行所需要的环境，从而保证了NXT
‑
MK2光刻机的顺利引进以及安装运行，对中国内陆地区的整个电子厂特别是半导体厂的半导体产品的制作工艺的提升具有重要价值。
附图说明
[0018]图1是实施例提供的一种用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座的平面结构示意图；
[0019]图2是实施例提供的用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座的立体结构示意图；
[0020]图3是实施例中的MBSF基础座的平面结构示意图；
[0021]图4是实施例中的MBSF基础座的立体结构示意图；
[0022]图5是实施例中的WHSF基础座的平面结构示意图；
[0023]图6是实施例中的WHSF基础座的立体结构示意图；
[0024]图7是实施例中的IF基础座的平面结构示意图；
[0025]图8是实施例中的IF基础座的立体结构示意图；
[0026]图9是实施例中的IF基础座的仰视图；
[0027]图10是实施例提供的用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座的定位结构示意图；
[0028]图11是实施例提供的用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座的防震脚安装结构示意图；
[0029]图中标号示意如下：
[0030]1、IF基础座；101～107、第一至第七IF基础座面板活动板；108、IF基础座主面板；109～111、第八至第十IF基础座面板活动板；112～115、第一至第四IF基础座支撑立柱；116、L形不锈钢配件；117、IF基础座钢构框架；118、第五IF基础座支撑立柱；119、IF基础座不锈钢连接件；120、第六IF基础座支撑立柱；
[0031]2、MBSF基础座；201/202/204/205/206/207/210/211/212/213/215/216、MBSF基础座防震脚配件；203/208/209/214、MBSF基础座内嵌不锈钢块；217、MBSF基础座RC面体；218、
MBSF基础座内嵌配件C型钢；
[0032]3、WHSF基础座；31/34、WHSF基础座防震脚配件；32、WHSF基础座本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，所述IF基础座和WHSF基础座分别设于MBSF基础座的左右两侧，其特征在于，所述MBSF基础座的具体结构为：包括MBSF基础座RC面体；所述MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件，所述MBSF基础座防震脚配件组件包括：一个圆环形的MBSF基础座防震脚配件、一个卡设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件的顶部中心的圆柱形的MBSF基础座防震脚配件、一个设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件一侧的长方体状的MBSF基础座防震脚配件；所述MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。2.根据权利要求1所述的用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座，其特征在于：所述MBSF基础座防震脚配件组件还包括一个圆形的MBSF基础座防震脚配件、两个分别对称设于圆形的MBSF基础座防震脚配件的左右两侧且互相衔接的MBSF基础座防震脚配件，所述圆形的MBSF基础座防震脚配件位于长方体状的MBSF基础座防震脚配件远离圆环形的MBSF基础座防震脚配件的一侧、靠近MBSF基础座RC面体的外侧。3.根据权利要求1所述的用于安装NXT
‑
MK2光刻机的基础座，其特征在于：所述MBSF基础座防震脚配件组件中的每一个MBSF基础座防震脚配件...

【专利技术属性】
技术研发人员：何成伟，
申请(专利权)人：协伟集成电路设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：