一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板制造技术

本技术公开了一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板，包括不锈钢底板和竖直连接于不锈钢底板四周的不锈钢侧板，所述不锈钢底板和不锈钢侧板形成一个开口状盒体，所述开口状盒体内设有不锈钢蜂窝状加强筋，所述不锈钢蜂窝状加强筋内预埋有若干不锈钢预埋钢块，所述开口状盒体的顶部设有将开口状盒体密封的不锈钢顶板。本技术提供的高刚性不锈钢板，相较于传统的不锈钢板，既能满足设备承载的刚度需求又能减少自重，可用作主动式基础座的支撑顶板，实用价值显著。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种不锈钢板，具体涉及一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板，属于精密仪器基础座制作。

技术介绍

1、在半导体行业中，一些精密电子设备对环境振动和刚度的要求高于平常标准，太大的环境振动和过低支撑刚度均会直接影响精密电子产品的制程与良率。

2、主动式基础座是目前精密仪器常用的支撑基础和安装平台，其支撑刚度直接影响精密电子产品的制程与良率。目前主动式基础座的支撑顶板常规使用的是80mm的不锈钢板，但是这种不锈钢板自重大，相应的振动也较大，为了减少环境振动，就需要选择负载较大的避震器来满足支撑顶板和设备的承载，但是主动式的避震器价格非常昂贵，难免增加设备成本。因此，有必要开发出这一种既能满足设备承载的刚度需求又能减少自重的高刚性不锈钢板。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的上述问题和需求，本技术的目的是提供一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板，包括不锈钢底板和竖直连接于不锈钢底板四周的不锈钢侧板，所述不锈钢底板和不锈钢侧板形成一个开口状盒体，所述开口状盒体内设有不锈钢蜂窝状加强筋，所述不锈钢蜂窝状加强筋内预埋有若干不锈钢预埋钢块，所述开口状盒体的顶部设有将开口状盒体密封的不锈钢顶板。

4、一种实施方案，所述不锈钢底板的顶部、不锈钢蜂窝状加强筋的四周围绕设有不锈钢u型侧板。

5、一种优选方案，所述不锈钢u型侧板的两个翼板一边高一边低，且靠近不锈钢蜂窝状加强筋一边的翼板低于靠近不锈钢侧板一边的翼板。

6、一种优选方案，所述不锈钢u型侧板与不锈钢底板之间焊接固定。

7、一种实施方案，所述开口状盒体内浇筑有底部环氧层。

8、一种实施方案，所述不锈钢底板与不锈钢侧板、不锈钢蜂窝状加强筋、不锈钢预埋钢块之间均焊接固定，所述不锈钢顶板与不锈钢侧板、不锈钢蜂窝状加强筋、不锈钢预埋钢块之间均焊接固定。

9、相较于现有技术，本技术的有益技术效果在于：

10、本技术提供的高刚性不锈钢板，相较于传统的不锈钢板，既能满足设备承载的刚度需求又能减少自重，可用作主动式基础座的支撑顶板，因此，本技术相对于现有技术具有显著性进步。

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【技术保护点】

1.一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板，其特征在于：包括不锈钢底板和竖直连接于不锈钢底板四周的不锈钢侧板，所述不锈钢底板和不锈钢侧板形成一个开口状盒体，所述开口状盒体内设有不锈钢蜂窝状加强筋，所述不锈钢蜂窝状加强筋内预埋有若干不锈钢预埋钢块，所述开口状盒体的顶部设有将开口状盒体密封的不锈钢顶板。

2.根据权利要求1所述的高刚性不锈钢板，其特征在于：所述不锈钢底板的顶部、不锈钢蜂窝状加强筋的四周围绕设有不锈钢U型侧板。

3.根据权利要求2所述的高刚性不锈钢板，其特征在于：所述不锈钢U型侧板的两个翼板一边高一边低，且靠近不锈钢蜂窝状加强筋一边的翼板低于靠近不锈钢侧板一边的翼板。

4.根据权利要求1所述的高刚性不锈钢板，其特征在于：所述开口状盒体内浇筑有底部环氧层。

5.根据权利要求1所述的高刚性不锈钢板，其特征在于：所述不锈钢底板与不锈钢侧板、不锈钢蜂窝状加强筋、不锈钢预埋钢块之间均焊接固定，所述不锈钢顶板与不锈钢侧板、不锈钢蜂窝状加强筋、不锈钢预埋钢块之间均焊接固定。

【技术特征摘要】

1.一种可用作主动式基础座的支撑顶板的高刚性不锈钢板，其特征在于：包括不锈钢底板和竖直连接于不锈钢底板四周的不锈钢侧板，所述不锈钢底板和不锈钢侧板形成一个开口状盒体，所述开口状盒体内设有不锈钢蜂窝状加强筋，所述不锈钢蜂窝状加强筋内预埋有若干不锈钢预埋钢块，所述开口状盒体的顶部设有将开口状盒体密封的不锈钢顶板。

2.根据权利要求1所述的高刚性不锈钢板，其特征在于：所述不锈钢底板的顶部、不锈钢蜂窝状加强筋的四周围绕设有不锈钢u型侧板。

3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：何成伟，
申请(专利权)人：协伟集成电路设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：