一种用于精密仪器的弹簧基座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于精密仪器的弹簧基座，本实用新型专利技术具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，通过设置本实用新型专利技术的弹簧座，使得上述类型的基座保持在垂直方向上的一定范围内上下移动，保证上述类型的基座保持在水平方向上的移动得到很大程度的限制；另外，利用弹簧座的轴向刚性来满足基座承重问题，从而可满足此类精密仪器的技术规范要求，有效解决背景技术中的不足。

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器的弹簧基座
本技术涉及精密仪器基础座
，特别涉及一种用于精密仪器的弹簧基座。
技术介绍
基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台，通过设有钢铁配件与精密仪器固定连接，其稳固性和对满足技术要求的环境直接影响仪器的工作精度，对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大的影响，特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高行业中。传统基座为钢结构形式，主要是考虑设备的承重以及设备对微震的要求；但是部分精密仪器设备本身在运转时，设备在垂直方向上的一定范围内上下移动，在水平方向尽可能限制在小的位移或者没有位移，所以常规形式的基座是不能满足此类设备的技术要求。因此，开发一种满足设备承重、满足设备在垂直方向一定范围内上下移动、在水平方向有尽可能小的位移或者没有位移的基座，是本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题，而提供一种用于精密仪器的弹簧基座。为了解决上述问题，本技术提供了一种技术方案：一种用于精密仪器的弹簧基座，包括弹簧座面板、弹簧座和弹簧座底板；所述弹簧座的具体结构为：包括上封板、内嵌套圆管、弹簧圈、外嵌套圆管和下封板；所述内嵌套圆管固定连接在上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于：包括弹簧座面板(1)、弹簧座(2)和弹簧座底板(3)；所述弹簧座(2)的具体结构为：包括上封板(21)、内嵌套圆管(22)、弹簧圈(23)、外嵌套圆管(24)和下封板(25)；所述内嵌套圆管(22)固定连接在上封板(21)右侧面的中心位置上；所述外嵌套圆管(24)固定连接在下封板(25)左侧面的中心位置上；所述内嵌套圆管(22)滑动连接在外嵌套圆管(24)的腔室内部；所述弹簧圈(23)包覆连接在内嵌套圆管(22)和外嵌套圆管(24)的外表面上；所述弹簧座面板(1)、弹簧座(2)和弹簧座底板(3)之间的具体连接关系为：所述弹簧座(2)为数个，所述弹簧座...

【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于：包括弹簧座面板(1)、弹簧座(2)和弹簧座底板(3)；所述弹簧座(2)的具体结构为：包括上封板(21)、内嵌套圆管(22)、弹簧圈(23)、外嵌套圆管(24)和下封板(25)；所述内嵌套圆管(22)固定连接在上封板(21)右侧面的中心位置上；所述外嵌套圆管(24)固定连接在下封板(25)左侧面的中心位置上；所述内嵌套圆管(22)滑动连接在外嵌套圆管(24)的腔室内部；所述弹簧圈(23)包覆连接在内嵌套圆管(22)和外嵌套圆管(24)的外表...

【专利技术属性】
技术研发人员：何成伟，
申请(专利权)人：协伟集成电路设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31