一种用于洁净室的真空阀地板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于洁净室的真空阀地板，包括安全盖、真空阀、真空阀盖、真空阀吸尘管路连接头、铰链、保险箱和真空阀地板框架；本实用新型专利技术具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，采用本实用新型专利技术替换原高架地板，来实现方便的真空除尘系统的管路连接以及真空除尘管路的打开和关闭，在保持高架地板维持原状的同时，实现了高效专业的除尘作业，从而解决了工作人员以及吸尘设备因高架地板拆卸而引起的跌落以及踩空问题，从而避免了安全事故的发生；同时实现了在施工期间的除尘工作变得更加便捷，安全以及专业，也避免了除尘工作对设备的正常运行的干扰；通过本实用新型专利技术可以实现工作人员方便，快捷和安全的除尘工作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室的真空阀地板
本技术涉及洁净室真空除尘
，特别涉及一种用于洁净室的真空阀地板。
技术介绍
在电子工业厂房的洁净室建造中,对洁净室的除尘问题会采用真空除尘系统进行洁净室内除尘，集中式处理方式；并且在每个洁净室内预留真空除尘管路接口，便于根据不同需求进行真空除尘管路连接，其真空除尘接口常规都布置在洁净室的防静电高架地板下方。由于洁净室内会安装精密仪器，所以会在洁净室内进行必要的安装区域施工工作，从而在施工过程中造成不可避免的粉尘以及其他碎屑等等垃圾；而洁净室对室内的洁净度有很高的要求，所以必须及时对施工区域进行除尘。除尘的方式有很多，常规的除尘设备就是吸尘器，但是吸尘器会造成二次粉尘污染。效果最好的就是上述的真空除尘。由于厂房内的真空除尘系统进行集中式除尘，所以需在洁净室内用其他的除尘设备连接到真空除尘系统的管路接口上进行除尘。又由于真空除尘的接口一般都位于高架地板下方，所以连接真空除尘接口时，必须拆除接口上方的高架地板进行除尘管道的连接。同时必须对被拆卸掉的高架地板区域进行安全围栏安装，以防工作人员踩空而跌落下去。由于一般的施工周期不会太短，所以在不工作期间，工作人本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于洁净室的真空阀地板，其特征在于：包括安全盖(2)、真空阀(3)、铰链(4)、保险箱(5)和真空阀地板框架(6)；所述真空阀(3)的具体结构为：包括真空阀盖(31)、真空阀吸尘管路连接头(32)；所述真空阀盖(31)铰接在真空阀吸尘管路连接头(32)上端；所述保险箱(5)固定连接在真空阀地板框架(6)预设的凹槽中；所述保险箱(5)上端设有一个安全盖(2)；所述安全盖(2)上通过两个相互间隔的铰链(4)铰接在真空阀地板框架(6)上；所述真空阀(3)连接在安全盖(2)上。

【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室的真空阀地板，其特征在于：包括安全盖(2)、真空阀(3)、铰链(4)、保险箱(5)和真空阀地板框架(6)；所述真空阀(3)的具体结构为：包括真空阀盖(31)、真空阀吸尘管路连接头(32)；所述真空阀盖(31)铰接在真空阀吸尘管路连接头(32)上端；所述保险箱(5)固定连接在真空阀地板框架(6)预设的凹槽中；所述保险箱(5)上端设...

【专利技术属性】
技术研发人员：何成伟，
申请(专利权)人：协伟集成电路设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31