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本实用新型公开了一种用于洁净室的真空阀地板，包括安全盖、真空阀、真空阀盖、真空阀吸尘管路连接头、铰链、保险箱和真空阀地板框架；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，采用本实用新型替换原高架地板，来实现方便的真空除尘系统...
该专利属于协伟集成电路设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过协伟集成电路设备（上海）有限公司授权不得商用。

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