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西安电子科技大学专利技术
西安电子科技大学共有27358项专利
等离子体化学气相淀积装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种等离子体化学气相淀积装置,该装置包括微波功率源及传输部件101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台部件103、真空部件104、气路部件105、自动传片部件106、控制部件107,其中,微波谐振腔体内设有等间隔排列的磁...
光化学气相沉积设备的光透过窗口装置制造方法及图纸
一种用于UV/CVD设备的光透过窗口装置,包括一个紫外光源和第一玻璃光窗(8),所述的第一玻璃光窗(8)密封安装在UV/CVD反应室(1F)的顶部,所述的紫外光源正对着第一玻璃光窗(8)安装在所述的UV/CVD反应室(1F)顶部外侧的本...
光化学气相沉积设备制造技术
一种光化学气相沉积设备,包括含有至少两个真空室和三级真空泵组的超高真空系统、加热系统、反应气体气路系统,其中所述的真空室中有一个是反应室[1F],所述的三级真空泵组由真空机械泵[3A]、真空分子泵[3B]及真空离子泵[3C]组成,所述的...
低温光化学气相淀积二氧化硅、氮化硅薄膜技术制造技术
本发明涉及一种光化学气相淀积(光CVD)技术。该技术采用紫外光汞敏化原理分解反应气体,在低于200℃条件下,通过硅烷(SiH-[4])-笑气(N及硅烷(SiH-[4])-氨气(NH-[3])混合气体的光化学反应分别淀积SiO-[2]、膜...
金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法技术方案
本发明公开一种金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法,该配气系统主要包括MO源模块,载气加载管路,MO汽输出管路,在载气加载管路设有质量流量计M1、真空阀A,在MO汽输出管路装有压力控制器、真空阀B,两管路经各自的真空阀与M...
电子回旋共振等离子体化学汽相淀积氮化硅薄膜的方法技术
本发明公开一种用于集成电路钝化层的氮化硅薄膜的低温制造方法,该氮化硅薄膜生长在位于淀积室中的衬底上。其过程包括:将衬底清洗后放在工艺室中;对工艺室抽真空并设定工艺条件;将硅源气体与氮化源气体先混合后通入工艺室,利用电子回旋共振效应吸收的...
一种低介电常数氧化硅薄膜的化学气相淀积方法技术
本发明公开一种低介电常数氧化硅薄膜的化学气相淀积方法,该氮化硅薄膜生长在位于淀积室中的衬底上。其过程包括:将衬底清洗后放在工艺室中;对工艺室抽真空;设定工艺条件;将硅源气体与氧化源气体先混合后再通入工艺室,利用电子回旋共振效应产生等离子...
微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备制造技术
本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备,该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107,其中,微波谐振腔体内设有等...
游泳教学训练辅助器制造技术
本实用新型公开了一种游泳教学训练辅助器,它涉及体育运动器械技术领域,其目的是采用该辅助器,既解决初学者怕水的心理,又帮助学习者较快掌握游泳技术动作,提高游泳技术水平。该辅助器包括辅助器面板和辅助器支架。辅助器面板是一个流线形防水板结构,...
篮球投篮训练器制造技术
本实用新型公开了一种篮球投篮训练器,它包括训练器框架、投球连动体和升降辅助架。训练器框架由训练器立柱、横梁、配重滑杆、底座组成。投球连动体包括胶质实心球、钢丝、滑轮和配重。钢丝的一端与胶质实心球连接,另一端先后穿过滑轮、定滑轮、动滑轮后...
静电防护器制造技术
本实用新型涉及一种人体静电防护器。主要解决人与人或人与物体在接触瞬间的“静电反应”。其技术方案是根据电容器与二极管连接构成放电回路的原理,将电容器与双向二极管制作成手碗、脚碗、腰带、鞋垫、钥匙链式防静电器。不断将人体积附的静电荷能量释放...
热电磁火罐治疗仪制造技术
本发明涉及一种电火罐治疗仪。该电火罐治疗仪是由火罐探头和脉冲加热器两部分组成。其中火罐内设有通电线圈,理疗电极和红外发热体,与罐外的脉冲加热器相连接,由脉冲发热器提供罐内作用于人体的低频治疗脉冲和红外发热体的热源以及控制罐内温度和产生交...
防护医用微带环贴敷器制造技术
本发明涉及一种医用微带环贴琢敷器。该防护医用微带环贴敷器是一种微带环天线。辐射器通过同轴微带接头可直接与现用的各种型号微波理疗机相配套使用,可取代现用微波理疗机的原嗽叭辐射器,或作为其辅助辐射器。本发明防护医用微带环贴敷器的微带环天线(...
便携式乳腺增生治疗仪制造技术
本发明涉及一种乳腺增生治疗仪,该治疗仪主要解决中医针刺治疗乳腺增生病人疼痛的问题。整个仪器由主机和治疗电极构成,主机包括调制、隔离、匹配、自激反馈、波形转换、主振、功放、升压调节等电路。主机输出的交替、断续、连续等脉冲电流通过可直接粘贴...
毫米波治疗仪制造技术
本发明涉及一种毫米波治疗仪。该治疗仪主要解决现有技术治疗效果差的不足,采用复合波谱辐射器或毫米波高斯波束辐射器结构以及低音波发生器结构,将低音波谱与固态振荡器调制产生的毫米波与辐射盘产生的红外波复合作用于人体穴位。其中的毫米波、红外线、...
电脑售油机制造技术
本实用新型涉及一种电脑售油机。本实用新型主要解决现有售油机重量精度不高,智能化程度低和冷天油冻电机工作不正常的不足。在售油机中增设有温度取样、电网电压取样电路,并经A/D转换器送入计算机处理控制电机的运转时间与速度,并在售油机中还设有R...
智能售油系统技术方案
本发明涉及一种智能售油系统。本发明主要解决现有售油系统重量精度不高,智能化程度低和冷天油冻电机工作不正常的不足。在系统中增设有温度取样、电网电压取样电路,并经A/D转换器送入计算机处理控制电机的运转时间与速度,并在系统中还设有RAM掉电...
在轨地球同步自旋卫星红外弦宽差分定姿方法技术
本发明公开一种在轨地球同步自旋卫星红外弦宽差分定姿方法,在卫星上只安装红外地球敏感器作为卫星姿态测量部件,卫星定点后,用红外地球敏感器所测得的地球弦宽差分值,来确定卫星自旋轴与轨道法向姿态偏差;进而用卫星的位置信息和法向姿态偏差,确定卫...
自行车附加擦泥装置制造方法及图纸
本实用新型涉及自行车的附加部件,特别是一种自行车擦车装置。该装置是用钢丝加工成的一端为开口小环,中部为一直杆,另一端为一段螺旋的四根相同部件,该部件两两分别安装在自行车前后车轮的定瓦杆上,平时作为装饰,雨天或遇泥路时拉出轮胎外,将两螺部...
内外驱动兼备的球形机器人装置制造方法及图纸
本发明公开了一种内外驱动兼备的球形机器人装置。该装置主要由球形壳体和内部工作组件组成,其中球形壳体采用气囊球壳(1),内部工作组件包括中轴丝杠(2)、导向杆(3)、配重组件(A)、端部联接组件(B)和太阳能组件(C),中轴丝杠(2)和导...
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