本实用新型提供一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉。本实用新型一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉，包括：罐体、抽气系统、排蜡组件、充气系统、加热系统、保温系统、测温系统、安全组件、气冷组件、水冷系统、控制系统及电源组件；所述罐体上设置有抽气接口与抽气系统...

本实用新型提供一种单晶炉热场埚托装卸设备，包括：提手、提拉杆、上固定板、下固定板、至少三个拉绳、至少三个拉杆、至少三个连杆及至少三个拉钩；所述提手与提拉杆的上端连接，所述提拉杆穿过所述上固定板，所述下固定板与提拉杆的下端连接；所述至少三...

本实用新型提供一种单晶炉二次加料车。本实用新型一种单晶炉二次加料车，包括：推车支架、提升杆、第一车轮、至少一个石英筒支撑架、至少一个挡板及石英筒底托；所述第一车轮与推车支架连接；所述石英筒底托设置于推车支架下部；所述至少一个石英筒支撑架...

本实用新型提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置。本实用新型单晶炉隔离阀自动挂接分离装置，包括：环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销；所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面；所述气缸用于安装于副室上，所述气缸与所述...

本发明提供一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉及坩埚产品的烧结方法。本发明一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉，包括：罐体、抽气系统、排蜡组件、充气系统、加热系统、保温系统、测温系统、安全组件、气冷组件、水冷系统、控制系统及电源组件；所述罐体上设置有抽气接...

本发明提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置。本发明单晶炉隔离阀自动挂接分离装置，包括：环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销；所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面；所述气缸用于安装于副室上，所述气缸与所述气缸连板...

本实用新型具体涉及一种单晶炉防漏硅装置，包括不锈钢炉室、设置在不锈钢炉室底部端面上的防漏装置以及设置在不锈钢炉室内部的热场组件，所述的防漏装置上还设有测温报警器；所述的热场组件包括石英坩埚、石墨坩埚、坩埚托盘、坩埚托杆、石墨加热器及保温...

本实用新型提供了一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体、下腔体以及封盖，所述上腔体设有第二注油口、第二放油口和第二观察口，所述下腔体设有第一注油口、第一放油口、第一观察口以及进气口和可移动的支腿，所述封盖上设有出气口和提拉臂，所述上腔...

本实用新型提供了一种热系统使用寿命检测装置，包括炉室，设置在炉室的保温笼，所述炉室的底部设置有支撑柱，该支撑柱用于保温笼的支撑，以及其上端设置有DS块，所述保温笼的底部设置有双层设置的保温板，在保温笼内部的内侧壁以及内上壁处分别设置有加...

本实用新型提供了一种多晶炉四抽气口管道系统，包括炉室，在炉室上均匀设置有第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口，所述第一抽气口和第四抽气口通过第一支路三通连接至第一支路弯管，所述第二抽气口和第三抽气口通过第二支路三通连接至第二...

本实用新型提供了一种带溢流观察窗的多晶硅铸锭炉，包括下炉室，该下炉室的侧壁上开设有向下倾斜的观察窗，所述观察窗的中间部分为观察通孔，在所述观察窗的上端设置有安装台，紧邻安装台的下方设置有直径大于观察通孔的视角窗口，以及在安装台上设置有防...

本实用新型提供了一种滚珠丝杠式晶升卷丝轮限位机构，包括卷丝轮、定位套、连接套以及固定座，所述卷丝轮上设有螺旋槽，所述定位套上设有滚珠，该滚珠半径R与螺旋槽的凹槽R尺寸相同，以及所述滚珠的排列螺距与螺旋槽的螺距相同，所述连接套用第一螺钉和...

本实用新型提供了一种单晶炉侧压轮机构，包括在卷丝轮的侧边设置侧压轮组件，其特征在于，所述侧压轮组件包括球轴承、销轴、固定板、压轮座、弹簧及压帽，所述球轴承安装在压轮座上，销轴卡住球轴承并将球轴承限位，所述压轮座装在固定板上，压帽旋入所述...

本实用新型提供了一种单晶炉自平衡式上传动系统，其特征在于，包括卷丝轮、丝杠、滑动轴、平衡配重块、花键轴以及动力组件，所述花键轴安装在箱体上，所述动力组件配置在花键轴的左端，丝杠与所述花键轴右端通过键同心连接，卷丝轮套装在花键轴上，花键轴...

本实用新型提供了一种充气自清洁式气路管道，包括单晶炉水冷抽气管道以及单晶炉室，在单晶炉水冷抽气管道与单晶炉室之间安装有插板阀和高压吹气环，高压吹气环的进气端安装有电磁阀。本实用新型提供一种充气自清洁式气路管道，通过插板阀隔离单晶炉室与水...

本实用新型提供了一种单晶炉充气结构，包括设置在上传动底板底部的环形装置，该环形装置配有一排螺钉孔，该排螺钉孔将环形装置固定在副炉室的上传动底板的底面，所述环形装置还设置有气体流通槽，该气体流通槽与充入上传动底板的氩气相通，所述气体流通槽...

本实用新型提供了一种籽晶软轴压紧防脱槽装置，包括一真空腔室，该真空腔室内设置有卷丝轮组件、承重滑轮组件以及压轮组件，所述承重滑轮组件设置在卷丝轮组件的上部，所述压轮组件设置在承重滑轮组件上，以及三籽晶软轴，其绕过上端承重滑轮组件后缠绕在...

本实用新型提供了一种石英二次加料器，包括石英料筒，该石英套筒的内部设置有石英套管，所述石英套管从石英套筒上部设置的石英盖板装入并由石英盖板的中心孔进行定位，所述石英套管的内部设置有钼提拉杆，在所述石英料筒的底部设置有石英底锥，该石英底锥...

本实用新型提供了一种单晶炉翻板水冷结构，包括一阀水座，与阀水座连接的阀轴长和阀轴短；所述阀水座通过网纹管一和网纹管二与阀板连接，所述阀板上设置有环形水道，所述网纹管一和网纹管二与环形水道相通，在所述环形水道上设置有隔水片，所述隔水片将网...

本实用新型提供了一种单晶炉四抽气口管道系统，包括抽气主管道、第一抽气支管道、第二抽气支管道、第三抽气支管道、第四抽气支管道、第一三通管道、第二三通管道、真空阀、真空泵、下炉室，所述下炉室侧壁上均匀分布有抽气口A、抽气口B、抽气口C及抽气...