一种单晶炉分体式油过滤除尘器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体、下腔体以及封盖，所述上腔体设有第二注油口、第二放油口和第二观察口，所述下腔体设有第一注油口、第一放油口、第一观察口以及进气口和可移动的支腿，所述封盖上设有出气口和提拉臂，所述上腔体与下腔体采用锁紧装置锁紧，上腔体与封盖采用锁紧装置锁紧。本实用新型专利技术提供了三层过滤结构的除尘器，拥有过滤效果好，使用周期长，维护简单的特点，更好的达到了清洁废气，保护真空泵长期有效运行的目的。

A Separate Oil Filtration Dust Collector for Single Crystal Furnace

The utility model provides a single crystal furnace split oil filter dust collector, which comprises an upper chamber, a lower chamber and a sealing cover. The upper chamber is provided with a second oil injection port, a second oil discharge port and a second observation port. The lower chamber is provided with a first oil injection port, a first oil discharge port, a first observation port, an air inlet and a movable leg. The sealing cover is provided with an air outlet and a pulling arm. The upper cavity and the lower cavity are locked by a locking device, and the upper cavity and the sealing cover are locked by a locking device. The utility model provides a dust collector with three-layer filtering structure, which has the characteristics of good filtering effect, long service period and simple maintenance, and better achieves the purpose of cleaning waste gas and protecting the long-term and effective operation of vacuum pump.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉分体式油过滤除尘器
本技术涉及多晶硅铸锭生产除尘
，具体涉及一种单晶炉分体式油过滤除尘器。
技术介绍
提拉法单晶硅生长的原理，在真空的炉室内，使用惰性气体(氩气)保护，采用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化，在特定温区内，通过传动机构带动籽晶旋转提拉运动和硅熔液的逆旋转及上升运动，以实现晶体的生长。在晶体生长的过程中，需要使用真空泵对炉室持续不断的抽空，将炉室内石英及石墨热场件在高温状态时所释放的二氧化硅、氧化硅等杂质及炉室各密封部位微量泄漏的空气及时抽出，已保持炉室内的真空度。当这些杂质及废气不断被抽入真空泵，使得真空泵油更换频繁，成本昂贵，同时真空泵的效率和使用寿命会逐渐降低。目前大多数单晶生长炉，是在单晶炉抽气管道中，真空泵的入口前端，增加除尘过滤装置，均是在一个密闭的罐体内，设置单层或者多层滤网，这种滤网式除尘器，只能过滤颗粒较大的杂质，对细小的杂质颗粒无法过滤，且滤网必须定期及时的清理，同时清理费时费力。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的是提供一种单晶炉分体式油过滤除尘器。本技术采用的技术方案是：一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体、下腔体以及封盖，所述上腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉分体式油过滤除尘器，其特征在于，包括上腔体(6)、下腔体(2)以及封盖(10)，所述上腔体(6)设有第二注油口(8)、第二放油口(15)和第二观察口(7)，所述下腔体(2)设有第一注油口(4)、第一放油口(14)、第一观察口(3)以及进气口(1)和可移动的支腿(13)，所述封盖(10)上设有出气口(11)和提拉臂(12)，所述上腔体(6)与下腔体(2)采用锁紧装置(5)锁紧，上腔体(6)与封盖(10)采用锁紧装置(9)锁紧，所述出气口(11)处设置有滤网(22)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉分体式油过滤除尘器，其特征在于，包括上腔体(6)、下腔体(2)以及封盖(10)，所述上腔体(6)设有第二注油口(8)、第二放油口(15)和第二观察口(7)，所述下腔体(2)设有第一注油口(4)、第一放油口(14)、第一观察口(3)以及进气口(1)和可移动的支腿(13)，所述封盖(10)上设有出气口(11)和提拉臂(12)，所述上腔体(6)与下腔体(2)采用锁紧装置(5)锁紧，上腔体(6)与封盖(10)采用锁紧装置(9)锁紧，所述出气口(11)处设置有滤网(22)。2.根据权利要求1所述的单晶炉分体式油过滤除尘器，其特征在于，所述下腔体(2)内部还设有第一导气孔(16)、第一导气罩(17)、第一标尺(24)及第一固定杆(18)，所述上腔体(6)内部还设有第二导气孔(19)、第二导气罩(20)、第二标尺(26)、第二固定杆(21)以及滤网(22)，其中第一导气孔(16)与进气口(1)相通，第二导气孔(19)与下腔体(2)相通。3.根据权利要求1所述的单晶炉分体式油过...

【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，武海军，张灵鸽，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61