本技术涉及硅片提篮设备技术领域，提供了一种圆形硅片搬运用提篮，包括两个侧板，两个所述侧板之间设有多根承载杆，所述承载杆上均匀设有用于承载硅片的承载槽，所述侧板远离承载杆的一侧设有凸柱，所述凸柱外壁转动连接有转动臂，所述转动臂远离凸柱的一...

本技术涉及一种硅片提篮，包括提篮箱，所述提篮箱的内壁开设有至少两个第一卡槽，所述提篮箱的下端四角处分别开设有凹孔，所述凹孔内设有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端共同设有连板，所述连板与提篮箱之间共同设有固定组件；所述固定组件包括竖板、限位杆、...

本技术涉及洗篮设备技术领域，提供了一种硅片洗篮，包括多个端板和第一承载辊轮围成的顶部敞口的洗篮，端板上开设有弧形槽和条形槽，端板之间至少设置一个悬设于弧形槽内的第三承载辊轮，条形槽内滑动设置有滑块，滑块和第三承载辊轮之间通过连接单元分别...

本技术公开了一种用于硅片承载板加工的加热温控系统，包括：用于加热和夹持承载板的加热板，嵌入在所述加热板内的温控模块；所述温控模块包括：直驱模块、转换模块、延时触发模块和补偿模块；本技术通过三极管Q1的得电触发，直接驱动加热板的运行，温度...

本技术公开了一种硅片打磨装置包括：工作台、安装在所述工作台上的上打磨部和下打磨部；所述上打磨部包括桁架、活动安装在所述桁架两端的第一推杆、设置在所述桁架中部的上磨板，所述第一推杆滑动配合于所述工作台；所述下打磨部包括安装在所述工作台上的...

本实用新型涉及硅片寿命测试设备技术领域，具体为一种硅片寿命测试设备，其能够有效提高检测精准度，包括传送台和支撑架，传送台的顶部放置有承载台，承载台的顶部设置有放置槽，放置槽的内部放置有硅片，承载台的侧壁上设置有检测块，支撑架的顶部设置有...

本实用新型属于操作平台技术领域，尤其是一种硅片检验操作平台，针对现有的操作麻烦、会降低检测效率的问题，现提出如下方案，其包括底板，所述底板上设置有两个竖板，两个竖板上均开设有竖腔，两个竖腔中的一个竖腔内设置有电机，两个竖腔内设置有升降机...

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是一种快速擦洗硅片承载盒的装置，针对现有的擦洗装置在使用过程中，不便于对承载盒内部进行充分擦洗，从而导致降低了擦洗效率和效果的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的顶部通过焊接固定安装有对称的两...

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是一种硅片平整性检测设备，针对现有的设备在生产硅片时，不能很好的保证硅片的平整性，且若是硅片出现不平整处无法快速发觉处理的问题，现提出如下方案，其包括底板，所述底板的顶部对称固定安装有两个竖板，两个竖...

本实用新型属于承载装置技术领域，尤其是一种用于硅片镀膜的承载装置，针对现有的承载装置多为固定设置，使用不够灵活，不能根据使用需求选择承载装置的使用数量的问题，现提出如下方案，其包括支撑板，支撑板的一侧安装有两个第二支撑条和多个第一支撑条...

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是一种硅片承载篮翻转装置，针对现有的翻转装置在使用过程中，不便于对硅片承载篮进行定位，且翻转稳定性较差，从而导致降低清洗效率的问题，现提出如下方案，其包括清洗槽，所述清洗槽的顶部开设有对称的两个第一滑...

本实用新型公开一种硅片清洗承载装置，其包括：第一承载架和设于第一承载架一侧的第二承载架，在所述第一承载架和第二承载架的上侧均设置有承载上架，在第二承载架前后侧的右端均固定有移动杆，第一承载架前后侧的左端均固定有移动框，且移动框的内部开设...

本实用新型涉及清洗设备技术领域，提供了一种硅片清洗框，包括框体，框体两侧内壁上设置有多个均匀等距排列的限位板，限位板之间的空隙中开设有多个第三孔洞，框体的底部夹角处设置有两个底座，底座的两端连接在框体的两侧壁上，底座上连接有能够与框体的...

本实用新型公开了一种适用于不同大小硅片的硅片承载座，包括主体，所述主体分为第一承载件和第二承载件，所述第一承载件和第二承载件之间通过活动机构连接，所述活动机构上设有活动板，所述活动板两端均固定安装有滑块，所述第一承载件和第二承载件内设有...

本实用新型公开了一种便于固定可调节的硅片承载座，包括硅片底座，所述硅片底座的顶部内腔开设有硅片卡槽，所述硅片卡槽的一侧开设有排水槽，所述排水槽的开设深度大于硅片卡槽的开设深度，所述硅片底座的底部设置有安装块，所述安装块的内腔开设有安装孔...

本实用新型涉及硅片承载板加工设备技术领域，提供了一种用于硅片承载板加工的加热夹具，包括底座和连接在底座上端的支架，所述支架的上端开设有活塞腔，活塞腔内滑动有活塞，活塞的下端连接有连接杆，连接杆穿过活塞腔并连接有加热罩，加热罩的正下方设置...

本发明涉及硅片基座承载膜技术领域，提供了一种用于承载硅片的硅胶层的制备工艺方法，包括如下配方，硅胶80