一种用于硅片承载板加工的加热夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片承载板加工设备技术领域，提供了一种用于硅片承载板加工的加热夹具，包括底座和连接在底座上端的支架，所述支架的上端开设有活塞腔，活塞腔内滑动有活塞，活塞的下端连接有连接杆，连接杆穿过活塞腔并连接有加热罩，加热罩的正下方设置有加热板，加热板固定在底座上，加热板上放置有承载铝板，承载铝板的上端铺设有硅胶层。本实用新型专利技术克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，解决了现有的烘干方式，容易导致硅胶层的厚薄不均的问题，本实用新型专利技术通过简单的结构组合，通过活塞驱动，对硅胶层施加的力更加均匀，同时通过热传导的方式对硅胶层进行加热，分散热源，加热更加均匀，具有很强的实用性。具有很强的实用性。具有很强的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片承载板加工的加热夹具


[0001]本技术涉及硅片承载板加工设备
，具体涉及一种用于硅片承载板加工的加热夹具。

技术介绍

[0002]硅片承载板是一种用于承载硅片的载具，广泛用于硅片加工的过程中，在中国专利CN2021102261699中公开的一种用于承载硅片的硅胶层的制备工艺方法，其中提到对硅胶层进行烘干处理，需要在高温下对硅胶层进行加压加热烘干，传统的烘干方式，在施加压力是不能保证平衡，导致加热和加压均匀度较差，从而导致硅胶层的厚薄不均，影响后续使用效果。
[0003]为此，我们提出一种用于硅片承载板加工的加热夹具。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于硅片承载板加工的加热夹具，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，解决了现有的烘干方式，容易导致硅胶层的厚薄不均的问题，本技术通过简单的结构组合，通过活塞驱动，对硅胶层施加的力更加均匀，同时通过热传导的方式对硅胶层进行加热，分散热源，加热更加均匀，具有很强的实用性。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片承载板加工的加热夹具，包括底座和连接在底座上端的支架，其特征在于：所述支架的上端开设有活塞腔，活塞腔内滑动有活塞，活塞的下端连接有连接杆，连接杆穿过活塞腔并连接有加热罩，加热罩的正下方设置有加热板，加热板固定在底座上，加热板上放置有承载铝板，承载铝板的上端铺设有硅胶层，且加热罩的内壁上通过隔板与硅胶层相抵触。2.如权利要求1所述的一种用于硅片承载板加工的加热夹具，其特征在于：所述硅胶层上开设有多个圆孔，圆孔中设置有限位圆柱。3.如权利要求1所述的一种用于硅片承载板加工的加热夹具，其特征在于：所述加热板上开设有与承载铝板相对应的限位凹槽。4.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢娇，
申请(专利权)人：无锡赛思一科技有限公司，
类型：新型
国别省市：