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本实用新型涉及硅片承载板加工设备技术领域，提供了一种用于硅片承载板加工的加热夹具，包括底座和连接在底座上端的支架，所述支架的上端开设有活塞腔，活塞腔内滑动有活塞，活塞的下端连接有连接杆，连接杆穿过活塞腔并连接有加热罩，加热罩的正下方设置有加...
该专利属于无锡赛思一科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡赛思一科技有限公司授权不得商用。

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