本发明涉及显微镜成像方法领域，具体涉及用于晶圆检测的可变倍率显微成像系统及控制方法，系统包括物镜模块、自动对焦模块、光源模块、相机模块、变动倍率模块，变动倍率模块位于相机模块与物镜模块之间，变动倍率模块根据变倍需求实现大范围可变倍率，方...

本技术提供了一种成像系统调节机构及显微成像装置，其中调节机构包括第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件，第一调节组件包括驱动件和滑动板，物镜组件安装在滑动板上，驱动件驱动滑动板运动，用于调节物镜的高度使物镜聚焦；第二调节组件包括顶丝、...

本发明涉及物镜成像技术领域，具体涉及一种采用相变材料浸没物镜的成像方法，包括：步骤1，将晶圆放置入成像腔体内，并位于物镜的正下方，对成像腔体进行加压至预设压力；步骤2，向成像腔体内泵入保护气体，并将成像腔体升温至能够让气体的相变材料液化...

本发明涉及宽场光学超分辨成像技术领域，具体涉及一种超高速结构光照明超分辨成像设备，包括按照光路顺序依次连接的玻片、筒镜I、偏振分束镜和物镜，所述偏振分束镜分出另一路光路依次连接有筒镜II和相机；所述玻片的光线入射方向上连接有能够对照明条...