一种激光对位清洗装置，包含基座单元、驱动单元、喷座单元及激光单元。所述基座单元用于限位晶圆。所述驱动单元包括左右滑座、左右滑台组、上下滑座、上下滑台组及载板。所述喷座单元连接于所述载板底侧，且包括喷座本体及至少一个喷嘴件。所述喷嘴件连接...

一种激光对位清洗设备，包含基座单元、驱动单元、喷座单元及激光单元。所述基座单元用于承载晶材。所述驱动单元包括载板。所述喷座单元连接于所述载板底侧，且包括喷座本体，及至少一个固接于所述喷座本体的喷嘴件，所述至少一个喷嘴件面向所述晶材喷出药...

一种喷嘴单元及电浆清洗装置，所述喷嘴单元包含安装件、用于伸入所述安装件的内置件，及用于覆盖所述内置件的套置件。所述安装件围绕第一轴线且界定出容置空间。所述内置件包括用于抵靠所述安装件的内连通管部，及两个连接所述内连通管部一侧且相间隔的凸...

本发明提供一种晶圆清洗液，其包含一烷醇胺类化合物以及一醇醚类化合物。烷醇胺类化合物包含乙醇胺、二乙醇胺或其组合，醇醚类化合物包含乙二醇叔丁基醚、二乙二醇单丁醚或其组合；烷醇胺类化合物和醇醚类化合物的重量比为1：20至1：1.5。另外，本...