本申请公开了一种MEMS扬声器结构、其制作方法及使用方法。该MEMS扬声器结构包括：第一衬底，其第二面上形成有岛状结构和环绕岛状结构的第一槽状结构；压电材料层，其设置在第一衬底的第一面上，并与第一衬底配合形成振膜结构；第一压电极板，其设...