本技术涉及气体分配盘相关技术领域，尤其涉及一种精确测量孔深的测量装置，包括深度尺，所述深度尺的表面一侧连接有底座，所述底座的表面一侧设置有检测机构。该精确测量孔深的测量装置，通过检测机构的设置，在需要对气体分配盘上的小孔深度进行精确检测...