本申请公开一种倒角装置及硅棒加工设备；所述倒角装置可应用于具有研磨装置的硅棒加工设备中，所述倒角装置中包括至少一倒角磨具以及倒角磨具进退机构，所述倒角磨具可用于实现对硅棒棱边的倒角或滚圆，由此在硅棒加工设备中倒角装置与研磨装置即可分别执...

本申请公开一种切割装置及硅棒加工设备；所述切割装置具有至少一线切割单元，所述线切割单元中通过确定切割轮及过渡轮的布设方式，令切割线以首尾相接的方式绕于切割轮及过渡轮之间，线切割单元由此形成可用于对硅棒开工切割的切割容纳空间，所述切割装置...

本申请公开一种硅棒装卸装置以及硅棒加工设备，其中，所述硅棒装卸装置包括安装部及至少一夹持组件，由所述安装部带动夹持组件以及所夹持的呈卧式的硅棒运动，以将硅棒运送至预定装载位置，如此可实现对硅棒的转运路径自动化控制，提高转运效率，所述安装...

本申请公开一种硅棒加工设备，其中，所述硅棒加工设备上设有第一加工区位及第二加工区位，即可在两个加工区位上同时进行硅棒加工作业，硅棒加工效率由此提高；同时，所述硅棒加工设备包括第一转换机构，可用于转换切割装置与研磨装置所处的加工区位，令硅...

本发明公开的一种半自动硅棒检测装置，包括第一输送机构、第二输送机构、夹取机构、升降机构、防护架以及探测灯组，通过防护架的结构对夹取机构以及升降机构进行防护，由机械手或者桁架将待检测的硅棒从缓存区搬运至第一输送机构，有第一输送机构将硅棒向...

本申请公开一种硅棒切磨一体机，所述硅棒切磨一体机集合了硅棒切割装置和研磨装置且将硅棒切割装置和研磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位，并设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置和第二转移装置，为第一、第...

本申请公开一种边皮卸料结构及硅棒加工设备，其中，所述边皮卸料机构中设置至少一承托组件，每一承托组件中由驱动单元驱动承托部抵靠边皮以实现对边皮的承托；因此，本申请的边皮卸料机构在对卧式硅棒进行开方切割的过程中，可藉由其承托组件的承托作用避...

本申请公开一种硅棒加工设备，其中，所述硅棒加工设备上设有第一加工区位及第二加工区位，即可在两个加工区位上同时进行硅棒加工作业，硅棒加工效率由此提高；同时，所述硅棒加工设备的切割装置可藉由第一转换机构在不同加工区位间切换，研磨装置可藉由第...

本发明公开的一种单晶硅棒AGV运输上下料设备，包括AGV车体，所述AGV车体上设置有上下料机构，所述上下料机构包括：支撑机构，所述支撑机构包括底座与高度调节架，至少两个所述高度调节架平行的设置在底座上；放料机构，所述放料机构包括放料架以...

本申请公开一种硅棒研磨机，包括机座、第一硅棒夹具、第二硅棒夹具、粗磨装置、以及精磨装置，第一硅棒夹具和第二硅棒夹具分别对应于第一加工区位和第二加工区位，粗磨装置和精磨装置设于一换位机构上，通过协调控制第一硅棒夹具、第二硅棒夹具与粗磨装置...

本申请公开一种硅棒装载装置和硅棒加工设备，其中，所述硅棒装载装置包括硅棒承载结构、对中调节机构和进给驱动机构，能在将硅棒移动至等待区位的装载工作中实现硅棒的对中操作，使得硅棒的轴心线与预定中心线对应，以利于后续的加工作业，相比于相关技术...

本申请公开一种研磨修复装置及硅棒加工设备，其中，所述研磨修复装置包括安装主体和至少一修磨部，所述至少一修磨部设于安装主体上，用于修磨对应的所述至少一研磨磨具，利用研磨修复装置的修复部与硅棒加工设备的研磨磨具的靠近和接触以实现对研磨磨具的...

本申请公开一种硅棒研磨机，包括机座、硅棒装载装置、第一转移装置、第二转移装置、粗磨装置、以及精磨装置，其是将粗磨装置与精磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位，设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置与第...

本申请公开一种硅棒研磨机，包括机座、硅棒转运装置、粗磨装置、以及精磨装置，其中，所述机座具有硅棒加工平台，所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位，硅棒转运装置包括转运主体及多个硅棒夹具和换位机构，利用换位机构驱动多个硅棒夹具及...

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，所述磨削吸盘包括吸盘主体以及调节吸管体，所述吸盘主体上端面处设置有若干个吸气孔组，若干个所述吸气孔组以吸盘主体的轴线为中心线环形阵列设置，所述吸气孔组包括至少两个吸气孔体，所述吸气孔体不贯穿所...

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料固定装置，用以放置晶圆盒，所述物料固定装置包括第一安装板、第二安装板、安装柱、卡块组件以及卡板组件，所述第一安装板与第二安装板相连接，多个所述安装柱设置在第二安装板下方，所述卡板组件设置在第一安装板...

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料定位装置，包括吸附盘、安装壳体、旋转机构以及定中心机构，所述安装壳体包括底座、导向板以及安装板，所述导向板上呈环形阵列的设置有至少三个导向孔，所述导向孔在其延伸方向上均穿过同一个圆心；所述旋转机构包...

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的搬运手，包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱，所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板，所述升降驱动单元与固定板相...

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的抓取机械手，包括升降组件、移动组件、第一转动组件、第二转动组件、抓取组件以及防护罩，所述升降组件包括升降驱动单元、升降单元、支撑单元以及连接架，所述升降驱动单元与升降单元均设置在支撑单元上，所述防护罩设...

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的清洗组件，包括外框体、冲洗组件以及清理组件，所述清理组件设置在外框体内，所述冲洗组件设置在外框体上，所述冲洗组件用以将洗涤液注入清理组件，所述清理组件包括壳体部件、支撑部件、升降部件、甩干部件，所述甩干...