【技术实现步骤摘要】
硅棒研磨机
本申请涉及硅工件加工
,特别是涉及一种硅棒研磨机。
技术介绍
目前,随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放,光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅片从提拉或浇铸的硅锭后通过多线锯切割及后续加工而成。现有硅片的制作流程,以单晶硅产品为例,一般地,大致的作业工序可包括:先使用硅棒截断机对原初的长硅棒进行截断作业以形成多段短硅棒;截断完成后,使用硅棒开方机对截断后的短硅棒进行开方作业后形成单晶硅棒;再对各个硅棒进行磨面、倒角等加工作业,使得硅棒的表面整形达到相应的平整度及尺寸公差要求;后续再对硅棒进行切片作业以得到硅片。一般情况下,在对硅棒进行磨面、倒角的工序中必须经由粗磨和精磨两个过程,装载单根硅棒依次进行粗磨、精磨后将其移送卸载,再对另一硅棒进行装载、研磨(粗磨和精磨)及卸载,在通常的大批量加工中硅棒研磨机重复这一加工过程,硅棒研磨机的磨具有大量时间处于空闲状态,研磨效率低下,影响硅棒加工的经济效益。
技术实现思路
鉴于以上所述相关技术的缺点,本申请的目的在于公开一种硅棒研磨机,用于解决现有技术中存在的研磨效率低下等问题。为实现上述目的及其他相关目的,本申请公开一种硅棒研磨机,包括:机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位;硅棒转运装置,设于机座上,包括转运主体以及设于转运主体上的多个硅棒夹具和换位机构,所述换位机构用于驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第 ...
【技术保护点】
1.一种硅棒研磨机,其特征在于,包括:/n机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位;/n硅棒转运装置,设于机座上,包括转运主体以及设于转运主体上的多个硅棒夹具和换位机构,所述换位机构用于驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置;其中,所述多个硅棒夹具分别对应的夹持中心线位于同一水平高度内;/n粗磨装置,设于第一加工区位,用于对硅棒转运装置中位于第一加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业;以及/n精磨装置,设于第二加工区位,用于对硅棒转运装置中位于第二加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业。/n
【技术特征摘要】
20200902 CN 20201091182881.一种硅棒研磨机,其特征在于,包括:
机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位;
硅棒转运装置,设于机座上,包括转运主体以及设于转运主体上的多个硅棒夹具和换位机构,所述换位机构用于驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置;其中,所述多个硅棒夹具分别对应的夹持中心线位于同一水平高度内;
粗磨装置,设于第一加工区位,用于对硅棒转运装置中位于第一加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业;以及
精磨装置,设于第二加工区位,用于对硅棒转运装置中位于第二加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业。
2.根据权利要求1所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述硅棒转运装置设于硅棒加工平台的居中区域,所述换位机构包括换位转轴,驱动所述换位转轴转动预设角度以带动多个硅棒夹具作转换动作。
3.根据权利要求2所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述换位机构还包括用于驱动所述换位转轴转动的换位驱动单元,所述换位驱动单元包括:
主动齿轮,轴接于驱动源;以及
从动齿轮,啮合于所述主动齿轮且连接于所述换位转轴。
4.根据权利要求1所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述硅棒夹具包括:
一对夹臂,设于所述转运主体上,用于夹持硅棒的两个端面;其中,由所述一对夹臂夹持的硅棒的轴心线与所述一对夹臂的夹持中心线一致;以及
夹臂驱动机构,用于驱动一对夹臂中的至少一个夹臂沿水平线移动以调节所述一对夹臂之间的夹持间距。
5.根据权利要求4所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述一对夹臂中的任一个夹臂设有夹持部及夹持部转动机构,所述夹持部转动机构用于驱动所述夹持部及所夹持的硅棒转动。
6.根据权利要求4所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述夹臂驱动机构包括:
开合导轨,沿水平线设于所述转运主体上,用于设置一对夹臂;以及
开合驱动单元,用于驱动所述一对夹臂中的至少一个夹臂沿所述开合导轨移动。
7.根据权利要求1所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述粗磨装置包括:
粗磨安装结构,设于机座上且对应于第一加工区位;
至少一对粗磨磨具,设于所述粗磨安装结构上;其中,所述至少一对粗磨磨具的研磨面平行且相对设置;
粗磨磨具进退机构,用于驱动所述至少一对粗磨磨具中的至少一个粗磨磨具沿重垂线方向移动,其中,所述重垂线方向垂直于所述研磨面;以及
粗磨磨具行进机构,用于驱动所述至少一对粗磨磨具沿水平线移动。
8.根据权利要求7所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述粗磨磨具进退机构包括:
进退导轨,沿重垂线方向设于所述粗磨安装结构,用于设置所述至少一对粗磨磨具;以及
进退驱动单元,用于驱动所述至少一对粗磨磨具中的至少一个粗磨磨具沿所述进退导轨移动。
9.根据权利要求7所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述粗磨磨具行进机构包括:
行进导轨,沿水平线设于所述粗磨安装结构上,用于设置所述至少一对粗磨磨具;以及
行进驱动单元,用于驱动所述至少一对粗磨磨具沿所述行进导轨移动。
10.根据权利要求7所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述粗磨安装结构借由一位移机构设于所述机座,其中,所述位移机构包括:
第一直线导轨,沿所述第一加工区位的宽度方向设于所述机座,其中,所述第一加工区位的宽度方向正交于所述粗磨磨具行进移动的水平线方向;
驱动源,驱动所述粗磨安装结构沿第一直线导轨移动。
11.根据权利要求1所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述精磨装置包括:
精磨安装结构,设于机座上且对应于第二加工区位;
至少一对精磨磨具,设于所述精磨安装结构上;其中,所述至少一对精磨磨具的研磨面平行且相对设置;
精磨磨具进退机构,用于驱动所述至少一对精磨磨具中的至少一个精磨磨具沿重垂线方向移动,其中,所述重垂线方向垂直于所述研磨面;以及
精磨磨具行进机构,用于驱动所述至少一对精磨磨具沿水平线移动。
12.根据权利要求11所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述精磨磨具进退机构包括:
进退导轨,沿重垂线方向设于所述精磨安装结构,用于设置所述至少一对精磨磨具;以及
进退驱动单元,用于驱动所述至少一对精磨磨具中的至少一个精磨磨具沿所述进退导轨移动。
13.根据权利要求11所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述精磨磨具行进机构包括:
行进导轨,沿水平线设于所述精磨安装结构上,用于设置所述至少一对精磨磨具;以及
行进驱动单元,用于驱动所述至少一对精磨磨具沿所述行进导轨移动。
14.根据权利要求11所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述精磨安装结构借由一位移机构设于所述机座,其中,所述位移机构包括:
第二直线导轨,沿所述第二加工区位的宽度方向设于所述机座,所述第二加工区位的宽度方向正交于所述精磨磨具行进移动的水平线方向;
驱动源,驱动所述精磨安装结构沿第二直线导轨移动。
15.根据权利要求1所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述硅棒加工平台还设有第三加工区位;所述硅棒研磨机还包括倒角装置,设于第三区位,用于对硅棒转运装置中位于第三加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行倒角作业。
16.根据权利要求15所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述第三加工区位设于第一加工区位和第二加工区位之间,所述倒角装置用于对硅棒转运装置中位于第三加工区位处的硅棒夹具所夹持的粗磨后硅棒进行倒角作业;或者,所述第三加工区位设于第二加工区位之后,所述倒角装置用于对硅棒转运装置中位于第三加工区位处的硅棒夹具所夹持的精磨后硅棒进行倒角作业。
17.根据权利要求15所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述倒角装置包括:
倒角安装结构,设于机座上且对应于第三加工区位;
至少一对倒角磨具,设于所述倒角安装结构上;其中,所述至少一对倒角磨具的研磨面平行且相对设置;
倒角磨具进退机构,用于驱动所述至少一对倒角磨具中的至少一个倒角磨具沿重垂线方向移动,其中,所述重垂线方向垂直于所述研磨面;以及
倒角磨具行进机构,用于驱动所述至少一对倒角磨具沿水平线行进移动。
18.根据权利要求17所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述倒角磨具进退机构包括:
进退导轨,沿重垂线方向设于所述倒角安装结构,用于设置所述至少一对倒角磨具;以及
进退驱动单元,用于驱动所述至少一对倒角磨具中的至少一个倒角磨具沿所述进退导轨移动。
19.根据权利要求17所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述倒角磨具行进机构包括:
行进导轨,沿水平线设于所述倒角安装结构上,用于设置所述至少一对倒角磨具;以及
行进驱动单元,用于驱动所述至少一对倒角磨具沿所述行进导轨移动。
20.根据权利要求17所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述一对倒角磨具中的两个磨具分别为精倒角磨具与粗倒角磨具。
21.根据权利要求20所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述精倒角磨具与粗倒角磨具在倒角磨具行进移动的水平线方向上交错设置。
22.根据权利要求20所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述一对倒角磨具中的两个磨具在第三加工区位的宽度方向上交错设置,其中,所述第三加工区位的宽度方向为正交于所述倒角磨具行进移动的水平线方向。
23.根据权利要求15所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述转运主体在水平面的轮廓呈矩形。
24.根据权利要求23所述的硅棒研磨机,其特征在于,所述转运主体轮廓的矩形的每一边的...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢建伟,李鑫,钱春军,曹奇峰,张峰,
申请(专利权)人:天通日进精密技术有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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