本发明涉及形成包括薄层的光伏电池的方法。通过将气体离子注入在诸如半导体晶片之类的施主体的表面以下，来形成非常薄的光伏电池。离子注入界定了解理平面，并且后续的步骤在解理平面处将薄层从晶片剥离。在层内形成光伏电池，或者形成光伏电池的基极或发...

一种用于使硅从硅晶片剥落的氢离子植入器使用大的扫描轮(14)，所述扫描轮在其周缘周围承载50+个晶片并且绕着轴线旋转。在一个实施方式中，轮的旋转轴线固定，并且氢离子的带状束(101)在轮的周缘上指向下方。带状束在轮上的晶片的整个径向宽度...

本发明涉及用于改变带状离子束的方法及设备。利用一对相对的铁磁条上的多个线圈结构来改变带状离子束。该线圈结构包括连续绕组，其具有每单位长度匝数沿条的长度的预定变化模式。在示例中，一个线圈结构可沿条具有均匀的每单位长度匝数，由此对线圈结构供...

本发明涉及形成包括薄层的光伏电池的方法。通过将气体离子注入在诸如半导体晶片之类的施主体的表面以下，来形成非常薄的光伏电池。离子注入界定了解理平面，并且后续的步骤在解理平面处将薄层从晶片剥离。在层内形成光伏电池，或者形成光伏电池的基极或发...

本发明涉及形成包括薄层的光伏电池的方法。通过将气体离子注入在 诸如半导体晶片之类的施主体的表面以下，来形成非常薄的光伏电池。离 子注入界定了解理平面，并且后续的步骤在解理平面处将薄层从晶片剥 离。在层内形成光伏电池，或者形成光伏电池的基...