图案匹配方法根据设计数据计算多个检查区域(A1～A10)内的各个图案密度，根据该数值将图案密度分割为多个密度组(PG1～PG3)，通过扫描电子显微镜(1)生成多个检查区域的各自的图像，执行图像上的图案与CAD图案的图案匹配，根据图案匹配...

本发明涉及用于降低由扫描电子显微镜生成的图像上的噪声的图像噪声降低方法。本图像噪声降低方法是，利用所述扫描电子显微镜生成样品的基准图像，对所述基准图像添加人工噪声以生成人工噪声图像，并将以在扫描电子显微镜的电子束的扫描方向上拉伸人工噪声...

本发明的方法中，决定工件的表面内的基准区域，根据基准区域内的图案的设计数据来计算基准区域的图案密度，决定多个调整区域，所述多个调整区域具有在规定范围内与计算出的图案密度近似的图案密度，借助扫描电子显微镜来生成基准区域的图像，借助扫描电子...

提供晶片保持装置，在对容易产生翘曲或变形的晶片进行保持时，即使在仅允许该晶片的外周下部的一部分接触的情况下，也能够以期望的姿势可靠地进行保持。具体而言，晶片保持装置以水平状态接收晶片并以规定的姿势进行保持，其特征在于，该晶片保持装置具有...

提供外观检查装置及方法，即使检查对象部位包含允许外缘的位置偏移、尺寸误差的变动区域，也能够不检测疑似缺陷而获得所期望的检查结果。具体而言，外观检查装置检查检查对象部位的外观，具备：检查图像取得部，取得检查图像；检查基准图像登记部，登记成...

本发明涉及一种自动确定形成在晶圆、掩模、面板、基板等工件上的图案的尺寸等特征量的测量方案的方法。本方法基于在设计数据中定义的坐标系上的测量点(111)和CAD图案(101)的相对位置、以及CAD图案(101)的面积，确定CAD图案(10...

本方法通过扫描电子显微镜(50)生成包含形成在多个层上的多个图案的层叠结构(400)的反射电子图像，将包含CAD图案的虚拟层叠结构(300)的多个区域根据虚拟层叠结构(300)的深度方向上的CAD图案排列而分类为多个组，该CAD图案根据...

本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17...

本方法对属于第1组的参考图案(210A)的宽度的测量值进行累计来确定第1累计值，对属于第2组的参考图案(210B)的宽度的测量值进行累计来确定第2累计值，实施第2区域的图像上的多个图案与对应的多个CAD图案的第2匹配，对属于第1组的图案...

本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘(轮廓线)的方法。图案边缘检测方法中，生成在工件上形成的目标图案的对象图像，生成表示对象图像的各像素的多个特征量的特征向量，将特征向量输入...

本发明涉及一种图像生成方法，该图像生成方法选择存在具有比阈值高的唯一性值的图案的剪辑区域(C1)，确定存在于选择的剪辑区域(C1)内的特定点，即第1特定点(P1)，由扫描电子显微镜生成通过确定的第1特定点(P1)的坐标所确定的芯片上的第...

本发明涉及用于进行设计数据上的图案与图像上的图案的对位的图像匹配处理，特别涉及使用通过机器学习构建的模型的图像匹配处理。本方法将设计数据上的指定的CAD图案转换为CAD图像(301)，将CAD图像(301)输入到通过机器学习构建的模型中...

本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中示出的多个空间宽...

本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制...

本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散...

本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除...