图像噪声降低方法技术

本发明专利技术涉及用于降低由扫描电子显微镜生成的图像上的噪声的图像噪声降低方法。本图像噪声降低方法是，利用所述扫描电子显微镜生成样品的基准图像，对所述基准图像添加人工噪声以生成人工噪声图像，并将以在扫描电子显微镜的电子束的扫描方向上拉伸人工噪声的方式构成的各向异性滤波器应用于人工噪声图像，由此生成人工低画质图像，通过使用包含基准图像和人工低画质图像的训练数据来执行机器学习，从而生成去噪模型，利用扫描电子显微镜生成成为半导体器件的检查和形状测量的对象的工件的图像，将工件的图像输入去噪模型，从去噪模型输出去噪图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及用于降低由扫描电子显微镜生成的图像上的噪声的图像噪声降低方法。

技术介绍

1、在由扫描电子显微镜生成的图像中，有时由于光学或电气因素等各种因素而出现噪声。作为用于降低这种图像上的噪声的一个解决方案，可以使用去噪模型。更具体地说，将包含噪声的图像输入到去噪模型中，从去噪模型输出降低了噪声的去噪图像。这样的去噪模型是通过机器学习生成的已学习模型。

2、图4是表示通过机器学习生成去噪模型的现有方法的一例的示意图。机器学习使用包括由扫描电子显微镜生成的高质量图像和低质量图像的多组的训练数据来执行。各组的高画质图像和低画质图像是晶圆等样品的相同部位的图像。高质量图像在低扫描速率的条件下获得，低质量图像在高扫描速率的条件下获得。

3、然而，该方法需要在不同的条件(即，不同的扫描速率)下生成样本的相同位置的图像。这种拍摄方法对于扫描电子显微镜来说非常耗时。

4、图5是表示通过机器学习生成去噪模型的现有方法的另一例的示意图。机器学习使用包括多组由扫描电子显微镜生成的高质量图像和人工噪声图像的训练数据来执行。高质量图像如在图本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种降低由扫描电子显微镜生成的图像中的噪声的图像噪声降低方法，其特征在于，

2.如权利要求1所述的图像噪声降低方法，其特征在于，

3.如权利要求1所述的图像噪声降低方法，其特征在于，

4.如权利要求1所述的图像噪声降低方法，其特征在于，

5.如权利要求4所述的图像噪声降低方法，其特征在于，

6.如权利要求4所述的图像噪声降低方法，其特征在于，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种降低由扫描电子显微镜生成的图像中的噪声的图像噪声降低方法，其特征在于，

2.如权利要求1所述的图像噪声降低方法，其特征在于，

3.如权利要求1所述的图像噪声降低方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：森泰平，
申请(专利权)人：塔斯米特株式会社，
类型：发明
国别省市：