扫描电子显微镜的自动对焦方法技术

本发明专利技术涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】扫描电子显微镜的自动对焦方法
本专利技术涉及扫描电子显微镜的自动对焦技术，尤其涉及利用隔行扫描的自动对焦技术。
技术介绍
扫描电子显微镜用于晶片表面上形成的布线图案的尺寸测量、布线图案的缺陷检测等晶片检查。扫描电子显微镜一般具有使电子束自动对焦在晶片表面上的自动对焦功能。图11是用于说明以往的自动对焦技术的示意图。如图11所示，扫描电子显微镜一边一点一点地偏移焦点位置一边生成多个图像，并计算每个图像的清晰度。更具体而言，扫描电子显微镜对各图像进行微分处理，并对图像上的图案边缘的清晰度进行计算。然后，扫描电子显微镜确定对应于最高清晰度的图像的焦点位置。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2007-109408号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，如图11所示，以往的自动对焦技术需要相当长的时间来生成多个图像。作为结果，晶片检查的吞吐量降低。另外，由于电子束对晶片反复照射来生成多个图像，因此形成晶片表面的膜(例如保护膜)带电。其结果为图像中出现的图案形状变形，亮度变得不均本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜的自动对焦方法，其特征在于，/n一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描试样，由此生成在所述试样的表面上形成的图案的间隔剔除图像，/n一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案的多个间隔剔除图像，/n计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，/n根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180207 JP 2018-0197721.一种扫描电子显微镜的自动对焦方法，其特征在于，
一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描试样，由此生成在所述试样的表面上形成的图案的间隔剔除图像，
一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案的多个间隔剔除...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田大辅，
申请(专利权)人：塔斯米特株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP