本技术提供一种靶材与背板的焊接结构，包括靶材、背板、一体式卡块、第二焊料以及第一焊料，靶材左右端下侧对称开设有卡槽，两个卡槽处均开设有第一焊料槽，一体式卡块设置有两个，两个一体式卡块对称固定在背板上端左右侧，两个一体式卡块左右端对称开设...

本技术提供一种金属颗粒快速降温装置，包括输送水泵、进液管、连接水管、喷洒头、活动箱体以及驱动气缸，输送水泵安装在降温箱体上端面，输送水泵输入端安装有进液管，输送水泵输出端连接安装有连接水管，连接水管下端面设置有喷洒头，驱动气缸安装在降温...

本技术提供一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材管口本体、第一橡胶保护圈、保护套、活动孔以及复位弹簧，靶材管口本体环面外侧设置有第一橡胶保护圈，靶材管口本体环面外侧设置有保护套，保护套环面外侧设置有第二橡胶保护圈，保护套环面内侧开设有螺...

本技术提供一种金属靶材铸造浇铸装置，包括底座、升降器、推进器以及冷却套，底座上表面四个角处均设置有支撑柱，支撑柱上表面设置有支撑板，底座上表面左端设置有盛装箱，盛装箱右侧设置有水箱，水箱为梯形，水箱上表前端设置有进水口，进水口向上穿过支...

本技术提供一种靶材打磨清洗机，包括清洗机本体、防撞边、进水管、研磨腔体、抽水泵、排水管以及排水箱，清洗机本体四周设置有防撞边，防撞边与清洗机本体固定连接，清洗机本体前侧设置有进水管，进水管后侧设置有研磨腔体，研磨腔体后侧设置有排水管，研...

本技术提供一种水路背板的测漏装置，包括水路背板、储水盒、固定式空心板、气泵连接管以及推拉滑板，储水盒内设有测漏水，固定式空心板设置有两个，两个固定式空心板对称固定在储水盒内部左右端，推拉滑板设置有两个，两个推拉滑板分别贯穿设置在两个固定...

本技术提供一种焊接靶材与背板的感应钎焊装置，包括加工壳体、冷水罐、固定环以及耐高温金属底板，加工壳体内部上端纵向设置有电动液压杆，且电动液压杆活动端安装有顶块，固定环通过多个支板固定在顶块环形侧面，固定环内通过多个支杆固定有小型电机，多...

本技术提供一种溅射靶材输送箱，包括铁质薄型箱盖、铁质防尘侧板、轴套、橡胶箱体、圆柱转轴、底板、圆柱型轴套以及箱门，铁质薄型箱盖前后两侧对称设有直槽口，橡胶箱体表面边侧与铁质薄型箱盖底面边侧分别安装有软磁条，轴套内安装有旋转轴，箱门位于橡...

本技术提供一种拼接型金属靶材，包括第一靶材片、第二靶材片、圆柱连接块以及凸块，第一靶材片左右端下侧对称开设有第一搭槽，第二靶材片左右端上侧对称开设有第二搭槽，两个第一搭槽内部上端均开设有第一定位槽，两个第一搭槽下端均一体设置有第一定位条...

本技术提供一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，底座上端面安装有挡板，挡板外侧面设置有调节座，调节座内部设置有锁止卡块，底座内部设置有半导体制冷器，底座上方设置有固定...

本技术提供一种磁控溅射靶材，包括靶体、凹槽、中心台、背板、定位圈以及凸台，背板上侧设置有凸台，凸台上侧设置有靶体，靶体下端面边缘部位设置有定位圈，靶体上端面内部开设有凹槽，凹槽中心部位设置有中心台，靶体下端面设置有定位块，凸台上端面内部...

本实用新型提供一种金属颗粒筛选机，包括初次处理箱

本实用新型提供一种半导体晶圆制造靶材背板结构，包括第一靶材背板、第二靶材背板、第一半圆底板以及第二半圆底板，第一靶材背板前后端右侧均安装有搭扣固定端，第二靶材背板前后端左侧均安装有搭扣活动端，第一半圆底板环形侧面前后侧均横向设置有多个第...