一种溅射靶材输送箱制造技术

本技术提供一种溅射靶材输送箱，包括铁质薄型箱盖、铁质防尘侧板、轴套、橡胶箱体、圆柱转轴、底板、圆柱型轴套以及箱门，铁质薄型箱盖前后两侧对称设有直槽口，橡胶箱体表面边侧与铁质薄型箱盖底面边侧分别安装有软磁条，轴套内安装有旋转轴，箱门位于橡胶箱体后方，铁质防尘侧板对称安装在橡胶箱体左侧面前后两端，该设计解决了原有装置除箱体侧面以外并未设置任何的缓冲装置，缓冲减震效果不全面，在运输中发生碰撞，箱体可能就会破损的问题，本技术结构合理，实用性好，通过将箱体改换成减震材料制作而成的箱体，利用圆柱转轴与填充气泡膜对箱体上下面进行充分包裹，可达到双重减震的效果，进一步提高了溅射靶材运输过程的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种溅射靶材输送箱，属于靶材输送设备。

技术介绍

1、溅射靶材主要包括靶材和背板，靶材和背板通过钎焊的方式结合起来。其中，背板可被循环利用，溅射靶材为易损件，需要装箱后进行运输。

2、中国专利号：cn209535942u，提及了一种溅射靶材输送箱，通过在箱体内与箱体侧面分别安装缓冲层与防撞管来减轻溅射靶材运输过程中所产生的冲撞力度，提高运输过程的稳定性，但此装置除箱体侧面以外并未设置任何的缓冲装置，所以缓冲减震效果不全面，在运输过程中若发生碰撞，箱体就会存在一定的破损隐患，现在急需一种溅射靶材输送箱来解决上述出现的问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种溅射靶材输送箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术结构合理，实用性好，通过将箱体改换成减震材料制作而成的箱体，利用圆柱转轴与填充气泡膜对箱体上下面进行充分包裹，可达到双重减震的效果，进一步提高了溅射靶材运输过程的稳定性。

2、为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种溅射靶材输送箱，包括铁质薄型箱盖、铁质防尘侧板、轴套、橡胶箱体、圆柱转轴、底板、填充气泡膜、圆柱型轴套以及箱门，所述铁质薄型箱盖前后两侧对称设有直槽口，所述橡胶箱体表面边侧与铁质薄型箱盖底面边侧分别安装有软磁条，所述轴套内安装有旋转轴，所述箱门位于橡胶箱体后方，所述铁质防尘侧板对称安装在橡胶箱体左侧面前后两端，所述橡胶箱体底部安装有多个支撑块，所述填充气泡膜表面设有多个气囊，所述底板安装在橡胶箱体左侧面，所述箱门右侧与旋转轴相连接，所述轴套安装在橡胶箱体后侧右端，所述圆柱转轴位于底板上方，所述圆柱转轴左端安装有细圆柱轴，所述箱门前表面安装有方型插柱。

3、进一步地，所述圆柱转轴左端与圆柱型轴套相连接，所述圆柱型轴套与左侧铁质防尘侧板相固定，且圆柱型轴套内安装有轴承。

4、进一步地，所述圆柱转轴右端与右侧铁质防尘侧板通过螺栓相连接，所述填充气泡膜套在圆柱转轴环形侧面。

5、进一步地，所述细圆柱轴左侧安装有转柄，两个所述铁质防尘侧板上方安装有铁质防尘顶板。

6、进一步地，所述橡胶箱体左侧面后端内部设有方型插槽，所述填充气泡膜前端对称安装有软磁条。

7、进一步地，所述圆柱转轴左端与轴承内圈相连。

8、本技术的有益效果：本技术的一种溅射靶材输送箱，因本技术添加了转柄、圆柱转轴、填充气泡膜、轴承以及细圆柱轴，经过我们的设计改进及实际使用表明，本装置结构合理，实用性好，通过将箱体改换成减震材料制作而成的箱体，利用圆柱转轴与填充气泡膜对箱体上下面进行充分包裹，可达到双重减震的效果，进一步提高了溅射靶材运输过程的稳定性。

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【技术保护点】

1.一种溅射靶材输送箱，包括铁质薄型箱盖(1)、铁质防尘侧板(5)、轴套(7)、橡胶箱体(9)、圆柱转轴(12)、填充气泡膜(13)、底板(14)、圆柱型轴套(18)以及箱门(21)，其特征在于：所述铁质薄型箱盖(1)前后两侧对称设有直槽口(2)，所述橡胶箱体(9)表面边侧与铁质薄型箱盖(1)底面边侧分别安装有软磁条(3)，所述轴套(7)内安装有旋转轴(8)，所述箱门(21)位于橡胶箱体(9)后方，所述铁质防尘侧板(5)对称安装在橡胶箱体(9)左侧面前后两端，所述橡胶箱体(9)底部安装有多个支撑块(10)，所述填充气泡膜(13)表面设有多个气囊(20)；

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于：所述圆柱转轴(12)左端与圆柱型轴套(18)相连接，所述圆柱型轴套(18)与左侧铁质防尘侧板(5)相固定，且圆柱型轴套(18)内安装有轴承(17)。

3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于：所述圆柱转轴(12)右端与右侧铁质防尘侧板(5)通过螺栓相连接(4)，所述填充气泡膜(13)套在圆柱转轴(12)环形侧面。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于：所述细圆柱轴(19)左侧安装有转柄(11)，两个所述铁质防尘侧板(5)上方安装有铁质防尘顶板(6)。

5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于：所述橡胶箱体(9)左侧面后端内部设有方型插槽(16)，所述填充气泡膜(13)前端对称安装有软磁条(3)。

6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于：所述圆柱转轴(12)左端与轴承(17)内圈相连接。

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【技术特征摘要】

1.一种溅射靶材输送箱，包括铁质薄型箱盖(1)、铁质防尘侧板(5)、轴套(7)、橡胶箱体(9)、圆柱转轴(12)、填充气泡膜(13)、底板(14)、圆柱型轴套(18)以及箱门(21)，其特征在于：所述铁质薄型箱盖(1)前后两侧对称设有直槽口(2)，所述橡胶箱体(9)表面边侧与铁质薄型箱盖(1)底面边侧分别安装有软磁条(3)，所述轴套(7)内安装有旋转轴(8)，所述箱门(21)位于橡胶箱体(9)后方，所述铁质防尘侧板(5)对称安装在橡胶箱体(9)左侧面前后两端，所述橡胶箱体(9)底部安装有多个支撑块(10)，所述填充气泡膜(13)表面设有多个气囊(20)；

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于：所述圆柱转轴(12)左端与圆柱型轴套(18)相连接，所述圆柱型轴套(18)与左侧铁质防尘...

【专利技术属性】
技术研发人员：高庆，
申请(专利权)人：塔格特电子材料上海有限公司，
类型：新型
国别省市：