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本技术提供一种溅射靶材输送箱，包括铁质薄型箱盖、铁质防尘侧板、轴套、橡胶箱体、圆柱转轴、底板、圆柱型轴套以及箱门，铁质薄型箱盖前后两侧对称设有直槽口，橡胶箱体表面边侧与铁质薄型箱盖底面边侧分别安装有软磁条，轴套内安装有旋转轴，箱门位于橡胶箱...
该专利属于塔格特电子材料（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塔格特电子材料（上海）有限公司授权不得商用。

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