【技术实现步骤摘要】
本技术是一种靶材打磨清洗机，属于靶材打磨清洗。
技术介绍
1、蒸镀工艺是现有半导体工艺中最常用的工艺之一，用于蒸镀工艺的蒸镀设备需要定期保养维护，在蒸镀设备定期保养维护的过程中，需要对蒸镀设备中的金属靶材进行清洗处理，现有对所述金属靶材进行清洗的方法为使用电动磨具人为手工对所述金属靶材进行打磨清洗。
2、中国专利号cn206326482u提出了一种研磨腔体及靶材打磨清洗机，虽然通过研磨腔体包括：腔体主体，所述腔体主体内形成有空腔，所述空腔内填充有与靶材材质相同的研磨颗粒。本技术的研磨腔体通过在空腔内填充与靶材材质相同的研磨颗粒，在外界驱动力的作用下可以在设备维护保养时对金属靶材进行打磨清洗工作，但原有的设备不便于移动，且研磨过程中会产生高温，影响研磨效果，实用性较低，因此现在急需一种靶材打磨清洗机来解决上述出现的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种靶材打磨清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，通过添加进水管可以让水流进入到研磨腔体，从而进行辅助降温，通过添加抽水泵与排水管，通过添加排水箱，可以将排出的废水进行处理，减少废水的污染，不仅解决了不便移动的问题，还提高了降温能力和排出废水的能力，实用性强。
2、为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种靶材打磨清洗机，包括清洗机本体、防撞边、进水管、研磨腔体、抽水泵、排水管以及排水箱，所述清洗机本体四周设置有防撞边，所述防撞边与清洗机本体固定连接，所述清洗机本体前侧
3、进一步地，所述研磨腔体内侧设置有靶材，所述清洗机本体前侧设置有控制面板，所述控制面板与清洗机本体固定连接，所述研磨腔体下表面设置有支架，所述支架与研磨腔体固定连接，所述支架下表面设置有驱动装置。
4、进一步地，所述驱动装置上表面设置有转速传感器，所述驱动装置与转速传感器转动连接，所述转速传感器上表面设置有连接器，所述连接器与转速传感器固定连接，所述连接器与研磨腔体固定连接。
5、进一步地，所述清洗机本体下表面前侧左右两端设置有前侧支撑架，所述清洗机本体后侧左右两端设置有后侧支撑架，所述前侧支撑架后侧左右两端设置有前侧推动轮，所述后侧支撑架前侧左右两端设置有后侧推动轮。
6、进一步地，所述前侧推动轮上表面设置有前侧车轮架，所述后侧车轮架上表面设置有后侧车轮架，所述前侧车轮架转动连接有前侧固定螺丝，所述后侧车轮架转动连接有后侧固定螺丝。
7、进一步地，所述前侧支撑架与后侧支撑架上表面设置有复位弹簧，所述清洗机本体上表面设置有机器盖体，所述清洗机本体内侧设置有水流传感器。
8、本技术的有益效果：本技术的一种靶材打磨清洗机，因本技术添加了清洗机本体、防撞边、进水管、研磨腔体、抽水泵、排水管以及排水箱，通过添加进水管可以让水流进入到研磨腔体，从而进行清洗，通过添加抽水泵与排水管，可以让清洗完的废水排出，通过添加排水箱，可以将排出的废水进行处理，减少废水的污染，不仅解决了不便移动的问题，还提高了降温能力和排出废水的能力，实用性强。
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1.一种靶材打磨清洗机，包括清洗机本体、防撞边、进水管、研磨腔体、抽水泵、排水管以及排水箱，其特征在于：所述清洗机本体四周设置有防撞边，所述防撞边与清洗机本体固定连接，所述清洗机本体前侧设置有进水管，所述进水管后侧设置有研磨腔体，所述研磨腔体后侧设置有排水管，所述研磨腔体与排水管固定连接，所述排水管内侧设置有抽水泵，所述排水管后侧设置有排水箱，所述排水箱与排水管固定连接；
2.根据权利要求1所述的一种靶材打磨清洗机，其特征在于：所述前侧推动轮上表面设置有前侧车轮架，所述后侧推动轮上表面设置有后侧车轮架，所述前侧车轮架转动连接有前侧固定螺丝，所述后侧车轮架转动连接有后侧固定螺丝。
3.根据权利要求1所述的一种靶材打磨清洗机，其特征在于：所述前侧支撑架与后侧支撑架上表面设置有复位弹簧，所述清洗机本体上表面设置有机器盖体，所述清洗机本体内侧设置有水流传感器。
【技术特征摘要】
1.一种靶材打磨清洗机，包括清洗机本体、防撞边、进水管、研磨腔体、抽水泵、排水管以及排水箱，其特征在于：所述清洗机本体四周设置有防撞边，所述防撞边与清洗机本体固定连接，所述清洗机本体前侧设置有进水管，所述进水管后侧设置有研磨腔体，所述研磨腔体后侧设置有排水管，所述研磨腔体与排水管固定连接，所述排水管内侧设置有抽水泵，所述排水管后侧设置有排水箱，所述排水箱与排水管固定连接；
2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：高庆，
申请(专利权)人：塔格特电子材料上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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