【技术实现步骤摘要】
本技术是一种旋转溅射靶材管口保护装置，属于靶材。
技术介绍
1、在旋转靶材出货前，需要在管口部位开设螺纹，以用作于溅射设备的工装连接。但是，由于在靶材运输过程中，靶材管口部分容易发生磕碰，导致管口以及安装螺纹的损坏，则无法继续正常使用，需要返厂维修，耗时耗力。
2、中国专利号：cn213922286u，一种旋转溅射靶材管口保护装置，该技术中保护套通过其内部设置的缓冲机构来对靶材管口进行保护，靶材管口处螺纹部分与第一弹性缓冲圈贴合连接，并配合圆盘压板和调节螺栓进行位置固定，防止松动，当保护套受到外部挤压碰撞时，便可通过第一弹性缓冲圈、第二弹性缓冲圈和缓冲连接块共同作用来避免靶材管口处螺纹部分产生形变损坏，且能有效避免靶材管口处螺纹部分与保护套内壁直接接触并产生损坏，保护效果更好，实用性更高，但是上述技术方案通过调节螺栓对圆盘压板进行位置固定，需要旋转调节螺栓，拆卸较为麻烦，降低了靶材的生产效率，现在急需一种旋转溅射靶材管口保护装置来解决上述出现的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种旋转溅射靶材管口保护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术结构合理，该设计通过限位斜板对缓冲胶板的位置进行固定，拆卸过程简单，提高了靶材的生产效率。
2、为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材管口本体、第一橡胶保护圈、保护套、活动孔以及复位弹簧，所述靶材管口本体环面外侧设置有第一橡胶保护圈，所
3、所述保护套中间贯穿设置有活动底座，所述活动底座上端面安装有限位安装座，所述活动底座内部开设有活动孔，所述活动孔贴合滑动连接有限位斜板，所述限位斜板与活动孔之间设置有复位弹簧，所述保护套内部开设有活动槽，所述活动槽贴合连接有活动板且伸出保护套外侧，所述活动底座下端面安装有缓冲胶板。
4、进一步地，所述第一橡胶保护圈的外径大于所述靶材管口本体的外径，所述第二橡胶保护圈的外径大于所述靶材管口本体的外径，所述靶材管口本体，所述靶材管口本体开设有外螺纹，外螺纹的外径与螺纹孔的内径大小相等，且两者能够相贴合转动连接。
5、进一步地，所述保护套内部开设有第一滑动槽，第一滑动槽的规格与所述活动底座的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接，所述限位安装座的外径大于第一滑动槽的内径，所述保护套内部开设有第二滑动槽，第二滑动槽的规格与所述缓冲胶板的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接。
6、进一步地，所述限位斜板的高度与所述活动孔的内径大小相等，且两者能够相贴合滑动连接。
7、进一步地，所述活动板的规格与所述活动槽的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接，所述限位斜板的规格与所述活动槽的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接。
8、进一步地，所述活动孔、复位弹簧、限位斜板、活动板以及活动槽组成限位安装组件，限位安装组件设置有两组，两组限位安装组件的组成结构相同，且对称设置在所述活动底座左右两侧。
9、本技术的有益效果：本技术的一种旋转溅射靶材管口保护装置，因本技术添加了第一橡胶保护圈、保护套、活动孔以及复位弹簧，该设计通过限位斜板对缓冲胶板的位置进行固定，拆卸过程简单，提高了靶材的生产效率，解决了原有旋转溅射靶材管口保护装置通过调节螺栓对圆盘压板进行位置固定，需要旋转调节螺栓，拆卸较为麻烦，降低了靶材的生产效率的问题。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材管口本体、第一橡胶保护圈、保护套、活动孔以及复位弹簧，其特征在于：所述靶材管口本体环面外侧设置有第一橡胶保护圈，所述靶材管口本体环面外侧设置有保护套，所述保护套环面外侧设置有第二橡胶保护圈，所述保护套环面内侧开设有螺纹孔且与靶材管口本体贴合连接；
2.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述第一橡胶保护圈的外径大于所述靶材管口本体的外径，所述第二橡胶保护圈的外径大于所述靶材管口本体的外径，所述靶材管口本体开设有外螺纹，外螺纹的外径与螺纹孔的内径大小相等，且两者能够相贴合转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述保护套内部开设有第一滑动槽，第一滑动槽的规格与所述活动底座的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接，所述限位安装座的外径大于第一滑动槽的内径，所述保护套内部开设有第二滑动槽，第二滑动槽的规格与所述缓冲胶板的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述限位斜板的高度与所述
5.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述活动板的规格与所述活动槽的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接，所述限位斜板的规格与所述活动槽的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述活动孔、复位弹簧、限位斜板、活动板以及活动槽组成限位安装组件，限位安装组件设置有两组，两组限位安装组件的组成结构相同，且对称设置在所述活动底座左右两侧。
...【技术特征摘要】
1.一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材管口本体、第一橡胶保护圈、保护套、活动孔以及复位弹簧，其特征在于：所述靶材管口本体环面外侧设置有第一橡胶保护圈，所述靶材管口本体环面外侧设置有保护套，所述保护套环面外侧设置有第二橡胶保护圈，所述保护套环面内侧开设有螺纹孔且与靶材管口本体贴合连接；
2.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述第一橡胶保护圈的外径大于所述靶材管口本体的外径，所述第二橡胶保护圈的外径大于所述靶材管口本体的外径，所述靶材管口本体开设有外螺纹，外螺纹的外径与螺纹孔的内径大小相等，且两者能够相贴合转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述保护套内部开设有第一滑动槽，第一滑动槽的规格与所述活动底座的规格相匹配，且两者能够相贴合滑动连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：高庆，
申请(专利权)人：塔格特电子材料上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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