本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使在系统的第一操作...

本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板...