本技术公开了一种等离子清洗机的真空腔体结构，涉及等离子清洗机技术领域，包括真空腔壳体、正电极插板、负电极插板、电极板以及产品托盘；所述真空腔壳体内部两侧壁上设有绝缘插槽，所述的产品托盘和电极板通过绝缘滑槽依次间隔设置在真空腔壳体内；所述...

本实用新型公开了一种移料机构，包括Y轴直线模组、Z轴直线模组和机械手，所述机械手通过所述Y轴直线模组和Z轴直线模组实现Y轴方向的前后移动和Z轴方向的上下移动，所述机械手包括夹爪臂、安装到所述夹爪臂的连接板、安装到所述连接板的夹爪气缸、第...

本实用新型公开了一种上下料机构，包括X轴平台、用于放置待清洗产品的上料仓和用于放置清洗后的产品的下料仓，所述上料仓和下料仓沿X轴方向依次排列，还包括沿X轴方向安装到所述X轴平台的X轴直线模组和安装到所述X轴直线模组顶端的X轴滑座板，所述...

本实用新型公开了一种全自动清洗机，包括机壳，还包括沿X轴方向设置到所述机壳内的上下料机构、沿Y轴方向设置到所述机壳内的移料机构、位于所述上下料机构和移料机构之间的清洗腔室以及设置到所述清洗腔室内的清洗机构；所述机壳的前侧设有与所述上下料...

本实用新型涉及特种清洗设备技术领域，特别涉及一种清洗设备，包括机体，还包括转动设置于机体的清洗台、用于驱动所述清洗台转动的离心组件和清洗组件，清洗台上设置有吸孔，清洗台的周向设置有用于固定硅晶圆片的夹具；所述清洗组件包括设置于所述清洗台...

本实用新型涉及等离子清洗技术领域，更加具体地涉及一种全自动等离子清洗设备，包括底座，底座沿直线依次设置有上料机构、清洗机构、转移机构和下料机构，上料机构包括上料载台、设置于上料载台的上料传输组件，上料传输组件用于将上料载台上的物料移动至...

本实用新型涉及等离子清洗技术领域，更加具体地涉及一种全自动等离子清洗机构，包括底座，所述清洗机构包括真空清洗室、设置于所述真空清洗室内的电极板、设置于所述真空清洗室一侧的放料组件，所述真空清洗室靠近所述放料组件的一侧设置有开口，所述放料...

本实用新型公开了一种移料机构及带有该移料机构的全自动微尘清洗机，属于一种全自动微尘清洗机，移料机构包括前后移动模组、上下移动模组和吸嘴架，吸嘴架通过前后移动模组和上下移动模组实现前后和上下方向的移动；吸嘴架设有若干吸嘴组件，吸嘴组件通过...

本发明公开了一种全自动微尘清洗机，属于一种微尘清洗设备，其包括推料机构、输送机构、移料机构、清洗机构和收料机构；移料机构包括前后移动模组、上下移动模组和吸嘴架，吸嘴架通过前后移动模组和上下移动模组实现前后和上下方向的移动；吸嘴架设有若干...