本实用新型公开一种扩散炉有害气体监测装置，所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄漏量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄漏量超过设定值时，监测器向报...

本实用新型公开一种ＰＥＣＶＤ自动装卸舟装置，包括一控制系统、机械手装置和与机械手装置平行的小车升降机构；其中：所述机械手装置包括一沿Ｚ轴方向的竖直轴；与竖直轴可上下运动连接且沿Ｙ轴方向的水平轴；与水平轴可沿Ｙ轴方向前后运动连接的机械手臂...

本实用新型公开了一种工艺气体的输送法兰，其包括环形的法兰体、设于该法兰体内一侧的冷却水流道、设于该法兰体外缘的与冷却水流道一端口联通的进水管以及与其另一端口联通的出水管；还包括设于所述法兰体内另一侧的工艺气体流道、沿工艺气体流道内壁设置...

一种带喷淋管的扩散炉，包括圆柱形石英管的反应室、设于该反应室一端的自动炉门、设于反应室内下部的石英舟。该石英舟的上方沿反应室的轴向设置一喷淋管，其一端封闭另一端穿出反应室的壁体，位于反应室内喷淋管的轴段朝上的一侧沿喷淋管的轴向开有一排小...

本实用新型公开一种软着陆扩散炉，旨在提供一种能提高ＳｉＣ悬臂桨寿命的软着陆扩散炉，其包括石英管反应室和用于放置石英舟的ＳｉＣ悬臂桨，所述软着陆扩散炉还包括一可推动所述ＳｉＣ悬臂桨进出石英管反应室的推舟机构，所述ＳｉＣ悬臂桨设置于所述推舟...

本实用新型公开了一种扩散炉压力自动平衡结构，应用于半导体工艺设备扩散炉，本实用新型通过设置管内压力检测端和管外压力检测端，对扩散炉石英管内外压力进行对比，并设置受质量流量控制器控制的工作气源，来对排废小管及管内气体进行补充；使用相关技术...

本实用新型公开了一种带吹扫处理装置的扩散炉，主要应用于扩散炉中；它包括有加热炉和操作室；加热炉带有炉腔，其炉口朝向操作室方向，在加热炉内还设有石英舟；在加热炉与操作室之间还设有排气室，排气室内靠近加热炉炉口处设有一风刀。风刀形成的风面在...

本实用新型公开了一种扩散炉的自动炉门盖，应用于半导体掺杂工艺的扩散炉；它包括一圆管状炉膛，在炉膛的炉口端连接有一炉门柜，炉门柜内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖；所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组...

本实用新型公开了一种用于扩散炉的防爆源瓶，这种技术和装置主要应用于扩散炉中；它包括瓶体及设置在瓶体上的管体，所述瓶体为ＰＴＦＥ或ＰＦＡ材质，在瓶体上设有向外凸起的加强筋。本实用新型通过改换源瓶的材料，将脆性的石英材料换成柔性的ＰＴＦＥ或...

本实用新型公开了一种带隔离处理装置的扩散炉，这种技术和装置主要应用于扩散炉中；它包括有加热炉和操作室，加热炉带有炉腔，其炉口朝向操作室方向，在加热炉内还设有可沿炉腔方向内外滑动的石英舟；所述操作室内靠近炉口处设有一中部带圆形开口的隔板，...

本实用新型公开一种自动装卸舟装置，包括一沿Ｚ轴方向的竖直轴；与竖直轴可上下运动连接且沿Ｙ轴方向的水平轴；与水平轴可前后运动连接的机械手臂；与机械手臂可前后运动连接的机械手爪；一控制所述水平轴、机械手臂和机械手爪运动的控制系统。本实用新型...

本发明公开了一种工艺气体的输送法兰，其包括环形的法兰体、设于该法兰体内一侧的冷却水流道、设于该法兰体外缘的与冷却水流道一端口联通的进水管以及与其另一端口联通的出水管；还包括设于所述法兰体内另一侧的工艺气体流道、沿工艺气体流道内壁设置的并...

一种等离子体刻蚀机，包括安装在主机柜内的立式结构反应室，位于主机柜上的电气自动控制单元，与反应室连接的送气单元及抽气单元，与抽气单元连接的真空泵，高频电源及匹配器；固定环、下法兰采用螺钉固定，使电感线圈和石英反应管间有一致的距离，保证了...