一种激光飞行时间光雷达，包括：发射模块和接收模块。接收模块包括第一光电二极管(PD1)、第二光电二极管(PD2)和单片机；单片机包括一比较器(U1)和一模数转换器(ADC)，单片机信号输出端连接发射模块的信号输入端；第一光电二极管(PD...

本发明公开了一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后将水蒸汽以恒定流量由载气带入加热炉，水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴露的高铝组分化合物发生反应，形成氧...

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括衬底，在衬底上依次层叠有基板、底部n型DBR反射镜、第一氧化限制层、n型引导间隔层、有源区层、p型渐变间隔层、第二氧化限制层、第一间隔层、第三氧化限制层、第二间隔层、第四氧化限制层、第三间隔层、第...

本发明公开了一种晶圆结构及其测试方法，包括叠放的衬底和外延层；所述外延层包括多层间隔设置的金属层和分隔层；其优点在于：在一个晶圆结构上设置多层金属含量不同的金属层，通过一次测试可同时获得多层金属层的氧化数据，进而得到该种功率器件的多种金...

本发明公开了一种激光飞行时间光雷达，包括：发射模块和接收模块。接收模块包括第一光电二极管、第二光电二极管和单片机；单片机包括一比较器和一模数转换器，单片机信号输出端连接发射模块的信号输入端；第一光电二极管和第二光电二极管并行设置；第一光...

本发明公开了一种砷化镓的干法蚀刻工艺及其应用。具体地，所述工艺是在砷化镓片表面淀积SiO2薄膜层，然后光刻并腐蚀出SiO2掩模层；使用感应耦合等离子体蚀刻技术在SiO2掩模层的掩蔽下对砷化镓进行蚀刻，蚀刻气体为是氯气和三氯化硼。本发明不...

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后按反应比例向点火装置通入氢气和氧气并点火燃烧，燃烧生成的水蒸汽通入加热炉，所述水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴...

本发明公开了一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器，包括依次层叠设置的顶电极、保护层、P型反射镜、第一氧化层、第一包层、多量子阱结构层、第二包层、第二氧化层、N型反射镜、衬底和底电极；所述的第一包层、多量子阱结构层和第二包层组成V...