本技术公开了一种高温炉用软毡开孔装置，涉及高温炉技术领域；开孔装置包括开孔方板和两组开孔工装；开孔工装包括固定法兰、穿毡杆和开孔器；固定法兰与高温炉的炉体法兰相连接，穿毡杆底部贯穿固定法兰且与固定法兰螺纹连接；穿毡杆顶部为锥形尖头结构，...

本技术提供了一种半导体基材设备保温系统的安装定位工装，属于保温系统安装定位工装技术领域；解决了目前高温纯化装备保温系统的排气阶梯搭接孔有效面积无法按照设计要求进行安装的问题；用于多层保温毡通气孔之间搭接孔的定位安装，包括由多个连接件横向...

本技术提供了一种生产半导体基材设备保温系统的抽屉式组合切割工装，属于保温系统切割工装技术领域；解决了分体式保温石墨软毡切割工装切割效率低的问题；用于切割保温系统底部和顶部的迷宫密封软毡，包括抽屉框架和组合式切割工装两部分，所述抽屉框架的...

本技术公开了一种大型卧式炉挡气装置，属于碳基材料高温热处理装备技术领域；包括顶部拼接轨道、底部拼接轨道、以及若干个挡气板；底部拼接轨道和顶部拼接轨道均沿卧式炉的炉体轴向设置，底部拼接轨道连接在卧式炉内热场底部，顶部拼接轨道连接在卧式炉内...

本技术公开了一种便于高温纯化设备分气盘拆装的装置，属于生产装置部件拆装技术领域；包括分气盘和拆卸工装；分气盘包括螺纹连接的中空气盘堵盖和分气盘边缘盘，中空气盘堵盖连接有工艺气体管路；中空气盘堵盖设置有中空气盘堵盖通气孔；拆卸工装包括连接...

本技术公开了一种高温真空炉用可伸缩石墨加热器，属于真空炉加热技术领域；包括石墨电极和竖直连板；炉体两侧的电极上分别固定连接有石墨电极；所述石墨电极上铰接有竖直连板，两个竖直连板之间铰接有调整加热结构；所述调整加热结构包括短加热板和长加热...

本技术公开了一种连续式石墨化炉用物料自动出仓机构，属于连续式石墨化炉技术领域；包括与出料过渡炉体连通的冷却段炉体、出料仓炉体；冷却段炉体内垂直放置一列物料坩埚；出料过渡炉体底部连接有升降装置，出料过渡炉体两侧对称连接有可伸缩的抓舟机械手...

本技术公开了一种表面涂层工装装置，属于沉积涂层技术领域；包括固定杆、活动杆、活动板、底座；底座上方两侧设置有固定杆，固定杆的内侧设置有第一支撑块，第一支撑块上方支撑有工件；活动板与底座活动连接，活动板连接有丝杠部件，通过丝杠部件活动杆可...

本技术公开了一种高温纯化设备的泵清洗装置，涉及泵清洗技术领域；包括螺杆泵和清洗液桶，螺杆泵的轴封与吹轴封电磁阀连接，所述吹轴封电磁阀与吹扫管路相连接；所述吹扫管路通过吹扫电磁阀与螺杆泵相连接；清洗液桶通过管路与泵清洗电磁阀相连接，所述泵...

本技术公开了一种高温炉用自调节石墨平台，属于高温炉技术领域，包括石墨平台、石墨支撑柱、调节筒、锁紧螺母、支撑筒、第一调节工装和第二调节工装；本技术在安装石墨平台过程时，先通过第一调节工装穿过石墨支撑柱与调节筒配合调节石墨支撑柱的高低，解...

本技术公开了一种大型卧式真空炉用平移炉门装置，属于真空热处理炉技术领域；包括炉门焊接体，配重座，纵向移动机构，横向移动机构，炉门轨道；炉门焊接体的侧部与配重座相连接，纵向移动机构连接在配重座的底部；炉门轨道设置在卧式真空炉的炉门外部；炉...

本技术公开了一种石墨件高温除硅炉物料放置架，属于真空热处理炉技术领域；包括多层接盘，上下相邻的两个接盘之间通过石墨支柱支撑连接；在接盘上铺设有石墨纸，接盘上平行插接有多个物料搭片，每个物料搭片上间隔设置有导向流动槽，石墨物料底部两端分别...

本技术公开了一种高温炉冷却水路结构，属于真空炉冷却技术领域；包括均固定设置在高温炉的炉体上的进水组件、下回水组件、上回水组件；进水组件由电极进水一、电极进水二、泵真空进水、炉体进水组成，电极进水一的水嘴通过软管与炉体的第一电极的水嘴相连...