本技术一种基于PLC的平移炉门安全控制系统，属于真空设备领域；解决了关闭炉门时可能会造成炉门结构的形变以及炉门纵向电机损坏的技术问题；技术方案：包括炉门电机，炉门电机接入PLC控制器的接触器控制模块，PLC控制器的气缸控制模块电连接有P...

本技术一种高温纯化装备电极套管结构，属于碳基材料生产装备技术领域；解决了当石墨电极安装在保温毡的斜面时，使用的电极套管组件以及保温毡包裹到铜电极底部影响铜电极使用寿命以及设备安全运行的技术问题；技术方案：包括电极套管，电极套管贯穿于斜面...

本技术一种基于可控硅的沉积炉加热装置，属于碳基材料生产装备领域；解决了现有沉积炉系统中对电加热功率的控制效果差、电源系统的功率因数低、注入电网的电流谐波含量指标差的问题；技术方案是：包括可控硅调压模块，可控硅调压模块的控制端接入PLC控...

本技术一种高温纯化装备真空系统顶部抽气管路装置，属于碳基材料生产装备领域；解决了高温纯化装备真空系统顶部抽气管路在抽气过程中上下窜动发生损坏的问题；技术方案：包括抽气管路，所述抽气管路的一端设置有保温系统，抽气管路的另一端设置有水冷套真...

本技术一种高温纯化装备石墨粉提纯装置，属于碳基材料生产装备领域；解决了高温纯化装备石墨粉提纯装置的内筒和外筒受力大从而影响提纯装置的使用寿命以及石墨粉渗透到提纯装置的外部从而影响高温纯化装备的稳定性的问题；技术方案：包括第一提纯部件和第...

本发明提供了一种基于PLC的气相沉积炉控制方法、系统及可读存储介质，属于气相沉积领域；解决了现有气相沉积技术存在多变量控制精度不足、故障诊断滞后、工艺运行繁琐等技术问题；为解决该技术问题采用的技术方案是：一种基于PLC的气相沉积炉控制系...

本技术一种过滤式可拆卸高温纯化炉炉体冷却水输水装置，属于冷却装置领域；解决了高温纯化装备水冷套内的铁锈难排除影响炉体冷却效果的问题；为解决该技术问题采用的技术方案是：包括过滤装置，过滤装置的一端面设置有第一法兰，第一法兰固定连接于炉体上...

本技术一种石墨粉体用分气装置，属于碳基材料生产装备领域；解决了高温纯化装备在纯化石墨粉时，石墨粉纯度不高的技术问题；技术方案：包括分气装置本体，分气装置本体的一端面设置有若干个气道，多个所述气道呈放射状分布，每个气道上均设置有若干个第一...

本发明连续式碳化、石墨化、纯化装备、方法及可读存储介质，属于碳毡加工领域；解决了硬质碳毡的碳化、石墨化和纯化的工作效率低，制造成本高的问题；技术方案：包括第一真空泵、若干个处理仓和若干个过渡仓，两两处理仓之间通过过渡仓连接，每个所述处理...

本技术提供了一种高温纯化装备炉体水冷套输出装置，属于高温纯化装备冷却技术领域；解决了高温纯化装备冷却效果不佳，冷却运营成本高的问题；为解决该技术问题采用的技术方案是：一种高温纯化装备炉体水冷套输出装置，包括挡水装置和冷却水输出部件，所述...

本技术一种高温纯化装备水冷套接口法兰，属于碳基材料生产装备领域；解决了水冷套管接口法兰与水道焊接处漏水的问题；技术方案是：包括炉体，所述炉体上穿设有第一通孔，第一通孔内开设有第一限位槽，第一限位槽的直径大于第一通孔的直径，第一通孔与炉体...

本技术提供了一种高温纯化装备物料盘辅助支撑工装，属于高温纯化生产技术领域；所要解决的技术问题是提供一种结构简单、操作便捷的高温纯化装备物料盘辅助支撑工装；为解决该技术问题采用的技术方案是：包括辅助支撑装置，所述辅助支撑装置的一端设置有调...

本发明提供了一种保护气体回收系统、方法及可读存储介质，属于气体回收领域；解决了现有碳化硅涂层装备运行成本高、回收氩气纯度低的问题；技术方案：一种保护气体回收系统，包括若干个碳化硅涂层装置，多个碳化硅涂层装置均接入第一真空泵，第一真空泵还...

本技术一种快捷可拆卸式高温纯化装备红外测温装置，属于碳基材料生产装备领域；解决了高温纯化装备红外测温装置长时间使用后测温不准，维护更换红外测温装置不方便的问题；技术方案是：包括炉体套管，炉体套管内贯穿有测温装置，炉体套管的第一端面设置有...

本申请提供了一种工业尾气集中处理系统、方法、设备及可读存储介质，属于尾气处理领域；解决了不同装备排放的尾气需要采用独立的尾气处理系统净化处理的问题；技术方案：所述系统包括气体检测装置，气体检测装置连接有废气缓存装置、尾气排出装置和若干个...

本发明一种半导体碳化硅涂层装置、系统、方法及可读存储介质，属于半导体涂层领域；解决了现有碳化硅涂层装备操作复杂且分解后生成的多种副产物严重影响碳化硅涂层质量的问题；为解决该技术问题采用的技术方案是：包括涂覆腔和控制系统，涂覆腔内的MTS...

本技术公开了一种用于第三代半导体SiC材料纯化装备保温系统的引导式迷宫密封保温结构，属于半导体材料制造技术领域；包括紧密贴合且首尾相接的多边形结构的多层保温毡，每层保温毡由奇保温毡和偶保温毡依次交替拼合组成；奇保温毡和偶保温毡均为等腰梯...

本技术公开了一种具有挡气罩的半导体基材生产加热系统，涉及半导体基材生产装备；包括挡气罩活动外筒、挡气罩固定内筒和挡气罩金属环；所述挡气罩金属环一端与高温纯化装备炉体顶部内壁连接，挡气罩金属环另一端与挡气罩固定内筒连接，挡气罩活动外筒一端...

本发明公开高温纯化装备超高温测控系统及方法，包括：纯化炉，纯化炉包括炉体和顶盖，顶盖中间位置开设有测温接口；红外测温系统，红外测温系统包括调节支架，调节支架安装在顶盖的顶面，调节支架上安装有红外测温仪，测温接口顶端可拆卸连接有测温玻璃组...

本发明一种软毡连续纯化装置及方法，属于软毡纯化领域；解决了目前软毡纯化装置的纯化率低、纯化过程中会破坏软毡结构的问题；为解决该技术问题采用的技术方案是：包括若干个纵向机架，两两纵向机架之间设置有若干个第一横向机架、若干个第二横向机架和若...