本发明为一种碳化硅粉料合成及晶体生长炉的电极引出装置，属于半导体材料装备制造技术领域，其包括水冷电极接管件，水冷电极接管件内设置有水冷电极，水冷电极包括水路连接组件、导电组件、锁紧组件和电极转接组件；其中，水路连接组件至少部分位于水冷电...

本发明公开了一种碳化硅长晶石墨材料纯化炉炉门铰链机构，涉及连接铰链技术领域，包括包括炉体连接组件、轴一、轴套一、轴套二、轴二、铰链弯臂、炉门下支座和炉门上支座，轴一和所述轴套一通过轴承组件转动连接组成第一铰接件，轴套二和轴二转动连接组成...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长废料的回收二次利用的装置，包括支撑板，所述支撑板的顶部表面一侧设置有支撑台，所述支撑台沿水平方向开设有通孔，且通孔内壁转动连接有研磨罐，所述研磨罐的一侧外圈设置有齿圈，所述支撑板的顶部表面一侧设置有驱动...

本实用新型公开了一种高纯度碳化硅粉料的生产设备，包括进料箱，进料箱底部固定安装有粉碎箱，粉碎箱内部设置有初步粉碎装置，粉碎箱底部固定安装有支撑板，两组支撑板之间设置有研磨装置和过滤结构，过滤结构包括第一连接板，两组第一连接板之间固定安装...

本实用新型公开了一种生长碳化硅单晶的装置，包括双层水冷式单晶硅生长炉主体与循环泵，所述双层水冷式单晶硅生长炉主体的侧壁分别设有第一循环口与第二循环口，所述循环泵的输出端包括有输出接口与输入接口，所述输出接口连通有导液管，所述导液管的另一...

本实用新型公开了一种高性能碳化硅粉末加工用研磨设备，涉及粉末加工设备技术领域。本实用新型包括底板、研磨箱和粉碎箱，研磨箱下端中部开设有第一活动口，研磨箱上端左侧开设有通口，第一活动口下端设置有第一电机，第一电机转轴端穿过第一活动口，研磨...