一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法，涉及半导体集成电路制造领域。本发明是为了解决现有晶圆片光刻胶缺陷检测方法还存在无法实现自动化检测且检测精准性低的问题。本发明包括：利用高亮、高均匀性大尺寸面光源设计晶圆片光刻胶缺陷图像采集装置...

本发明公开了一种基于光学检测的图像分割方法及装置。所述方法包括：获取目标图像的参考分割区域；根据所述参考分割区域的边界在所述参考分割区域内截取至少一个子检测区域，其中，所述子检测区域至少覆盖一个所述目标检测区域相邻边界的相交位置；在所述...