本发明提供基于真空热处理炉的高温真空化学气相渗铝和涂层设备，涉及材料表面改性技术领域，包括电器及气体控制柜、外部铝发生器、真空热处理炉、冷阱、真空泵、压力控制阀和尾气中和站。本发明通过外部铝发生器与内部铝发生器的双重协同实现反应物高效活...