本发明涉及半导体制造技术领域，提出一种在线检测硅槽刻蚀深度的方法，包括在样品晶圆和待测晶圆的掺杂区域上构造监控结构，其中所述监控结构具有参考结构和多个对照结构，所述参考结构上不具有硅槽，所述多个对照结构上分别具有多个大小一致但数量不等的...

本发明提供了一种测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构，包括：在第一基底表面上进行刻蚀，形成游标主尺刻度原始标记；在第一基底表面上进行外延，形成第二基底表面，根据游标主尺刻度原始标记的现有形貌设置游标主尺刻度标记、以及设置游标主尺刻度标记...

本发明的实施例公开了一种光延时量测量装置，包括：光分路器，所述光分路器具有第一输入端、第一输出端和第二输出端，光信号从所述第一输入端输入，按一定分光比例分别送至第一输出端和第二输出端；光合路器；所述光合路器具有第二输入端、第三输入端和第...

本发明公开了一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法和装置。硅波导内应力的各向异性会造成不同方向上的折射率不同，通过测量偏振光经过硅波导之后的偏振旋转量能够获得硅片内的应力信息。方法包括两部分，第一步测定待测器件的快慢轴方向，第二步...

本发明公开了一种近距离不同表面平行状态的光学检测装置结构，包括：载物台；设置在所述载物台上支杆；安装于所述支杆中的导光管；设置在所述导光管一端内部的光源发生器；设置在所述导光管与光源发生器相对的另一端的45度半透半反棱镜；设置在所述45...

本发明的实施例公开了一种光子滤波器，包括：可调耦合器，可调耦合器包括第一分光结构、第二分光结构、第一波导和第二波导，第一分光结构具有第一输入端口、第二输入端口、第一输出端口及第二输出端口，第二分光结构具有第三输入端口、第四输入端口、第三...

本发明的实施例公开了一种有源光缆器件。该有源光缆器件包括：透镜组模块；硅基V型槽；以及设置在所述硅基V型槽内的一根或多根光纤，其中所述透镜组模块具有第一对准结构，所述硅基V型槽具有与所述第一对准结构配合的第二对准结构，所述硅基V型槽与所...

本发明公开了一种非均匀温度补偿的阵列波导结构，包括阵列波导；加热区，所述加热区与所述阵列波导的部分区域相邻并对所述部分区域进行加热，其中所述阵列波导中各波导的等效加热长度随波导长度的增加而增加。通过该结构能够补偿环境温度变化引起的光程差...

本发明涉及一种像面衍射包络平坦的罗兰圆结构波分复用器及其仿真优化方法，沿着光传播方向，所述波分复用器包括输入波导、输入端平板区、阵列波导区、输出端平板区和输出波导。所述输入端平板区包含输入端并行模式变换器，且所述输出端平板区包含输出端并...

本发明的实施例公开了一种封装结构，包括：芯片；封装管壳，所述封装管壳包括管壳底座，所述芯片位于所述管壳底座顶面上方；应力调节结构，所述应力调节结构设置在所述芯片和所述管壳底座之间。通过该实施例可降低由于封装管壳和芯片之间的热膨胀系数不同...

本发明涉及一种用于研磨抛光光学元件的一体化夹具，所述一体化夹具包括夹具主体，研磨垫块，研磨压条，定位圆盘和定位环。本发明还涉及一种使用如上所述的一体化夹具来夹持光学元件的方法，所述方法包括下述步骤：(1)将待研磨抛光的光学元件放入夹具主...

本发明提供了一种高精度N‑bit可调光延时器，主要由光开关芯片、准直透镜阵列、自由空间延时模块、输入输出光纤pigtail、底座组成。其中光开关芯片为多个光开关单元的阵列集成，自由空间延时模块实现多级延时单元的一体化，通过透镜阵列实现两...

本实用新型提供了一种高精度N‑bit可调光延时器，主要由光开关芯片、准直透镜阵列、自由空间延时模块、输入输出光纤尾纤、底座组成。其中光开关芯片为多个光开关单元的阵列集成，自由空间延时模块实现多级延时单元的一体化，通过透镜阵列实现两者的高...