本技术公开了一种激光雷达的MEMS振镜驱动电路。它包括数模转换器模块(1)、低通滤波器模块(2)、单端转差分模块(3)、高压放大器模块(4)、电源模块(5)和主控器FPGA；所述主控器FPGA连接数模转换器模块(1)，数模转换器模块(1...

本技术公开了一种应用于激光雷达的MEMS微镜系统，包括发生器和接收器，所述发生器和接收器的前端设置有MEMS微镜封装模组；所述MEMS微镜封装模组包括MEMS微镜装置，MEMS微镜装置的前端设置有棱镜转接件；所述MEMS微镜装置经棱镜转...

本技术公开了一种变频扫描激光器恒流驱动电路。它包括主控器(1)、恒流驱动单元(2)、过压保护单元(3)和电源保护单元(4)；所述主控器(1)的输出端与恒流驱动单元(2)的输入端电性连接，所述主控器(1)的输入端与过压保护单元(3)的输出...

本技术公开了一种改进动态面形的MEMS振镜，包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设...

本发明公开了一种压阻式角度传感器的制备方法及应用：包括如下步骤：对硅片表面进行热氧处理，使硅片表面生长氧化层；根据产品结构，对硅片中所需形成压阻条的区域进行光刻加氧化层体刻蚀，刻蚀至硅基底；对硅片进行离子注入，使未被氧化硅保护的区域形成...