一种改进动态面形的MEMS振镜制造技术

本技术公开了一种改进动态面形的MEMS振镜，包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔；本技术设置有多个磁铁，具备足够的驱动力，微镜背面具有多个多边形槽，在不影响结构强度的前提下实现减重，有效减少微镜增厚所带来的负面影响。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微机电领域，特别涉及一种改进动态面形的mems振镜。

技术介绍

1、mems振镜在激光共焦显微系统、光开关、投影显示、激光雷达等领域内有着广泛的应用，不同的使用场合对mems振镜的扫描频率、转动角度、光学分辨率、抗震能力和镜面面形等性能参数有着严格地要求，尤其是激光雷达上的应用，当mems振镜在高速、大扭转角度转动过程中，镜面不平整度与所反射光束最小波长量级相当时，产生的反射光束波前像差就会严重降低其可获得的光学效率；通常反射镜面静态形变产生的像差可以通过相应的光学系统获得补偿，然而由于高速转动引起的镜面动态形变却无法通过静态的光学元件获得校正，且反射面越大动态形变越严重，为此对于mems振镜来说，增加反射面的厚度可以减小镜面的动态形变，但是纯粹地增加镜面厚度，会导致镜面质量增加，转动惯量增加，所需要的驱动力增加，或者转动角度和频率降低等负面影响，即其他技术参数受限，无法在激光雷达等领域实际应用。

技术实现思路

1、本技术的目的在于，提供一种改进动态面形的mems振镜。本技术设置有多个磁铁，具备足够的驱动力，微镜背面具有多个多边形槽，在不影响结构强度的前提下实现减重，有效减少微镜增厚所带来的负面影响。

2、本技术的技术方案：一种改进动态面形的mems振镜，包括多个呈围合状态的支架，支架的底部设有磁铁，支架上方设有固定板，固定板内经转轴设有转动框架，转动框架上经转轴设有微镜，微镜的背面设有均匀分布的多边形槽，相邻多边形槽之间具有脊线相隔。

3、上述的一种改进动态面形的mems振镜中，所述多边形槽为正六边形槽，且各脊线相连形成蜂窝状。

4、前述的一种改进动态面形的mems振镜中，所述转动框架包括设置与固定板中部的圆形开口，圆形开口内设有经转轴转动连接的外环，所述微镜两侧经转轴与外环内圈转动连接，微镜的转动面与外环的转动面相垂直；所述外环和微镜侧部的转动连接处均设有位于转轴上的固定件，固定件的两侧均设有通电线圈，磁铁的磁极与通电线圈相对。

5、前述的一种改进动态面形的mems振镜中，所述磁铁的数量为四个，分别位于外环两侧连接处和微镜两侧连接处的下方。

6、前述的一种改进动态面形的mems振镜中，所述转动框架和微镜所在位置的支架顶面低于外侧支架的的顶面。

7、与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：

8、1、本技术底座，包括多个呈围合状态的支架，支架的底部设有磁铁，支架上方设有固定板，固定板内经转轴设有转动框架，转动框架上经转轴设有微镜，微镜的背面设有均匀分布的多边形槽，相邻多边形槽之间具有脊线相隔，通过多个不同位置的磁铁驱动转动框架进行转动，各个方向的转动均具备足够的驱动力；微镜背面的多边形槽可以有效减少微镜体积进而实现减重，同时脊线的存在则可以确保微镜背面仍具备足够的结构强度，有效避免微镜增厚以后所带来的负面影响。

9、2、本技术多边形槽为正六边形槽，且各脊线相连形成蜂窝状，正六边形占空比最大，能有效减重，同时蜂窝状的脊线具备足够的结构强度。

10、3、本技术转动框架包括设置与固定板中部的圆形开口，圆形开口内设有经转轴转动连接的外环，所述微镜两侧经转轴与外环内圈转动连接，微镜的转动面与外环的转动面相垂直；所述外环和微镜侧部的转动连接处均设有位于转轴上的固定件，固定件的两侧均设有通电线圈，磁铁的磁极与通电线圈相对；通电后通电线圈产生磁力，通过通电线圈与磁铁的相斥和相吸带动转轴转动进而带动外环和微镜的转动，由于外环和微镜的转动面相垂直，因此可以实现微镜向各个方向的灵活转动。

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【技术保护点】

1.一种改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔。

2.根据权利要求1所述的改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：所述多边形槽(7)为正六边形槽，且各脊线(8)相连形成蜂窝状。

3.根据权利要求1所述的改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：所述转动框架(5)包括设置与固定板(4)中部的圆形开口(9)，圆形开口(9)内设有经转轴转动连接的外环(10)，所述微镜(6)两侧经转轴与外环(10)内圈转动连接，微镜(6)的转动面与外环(10)的转动面相垂直；所述外环(10)和微镜(6)侧部的转动连接处均设有位于转轴上的固定件(12)，固定件(12)的两侧均设有通电线圈(11)，磁铁(2)的磁极与通电线圈(11)相对。

4.根据权利要求3所述的改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：所述磁铁(2)的数量为四个，分别位于外环(10)两侧连接处和微镜(6)两侧连接处的下方。

5.根据权利要求1所述的改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：所述转动框架(5)和微镜(6)所在位置的支架(1)顶面低于外侧支架(1)的(3)的顶面。

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【技术特征摘要】

1.一种改进动态面形的mems振镜，其特征在于：包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔。

2.根据权利要求1所述的改进动态面形的mems振镜，其特征在于：所述多边形槽(7)为正六边形槽，且各脊线(8)相连形成蜂窝状。

3.根据权利要求1所述的改进动态面形的mems振镜，其特征在于：所述转动框架(5)包括设置与固定板(4)中部的圆形开口(9)，圆形开口(9)内设有经转轴转...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚庆新，
申请(专利权)人：上海科恒特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：