一种改进动态面形的MEMS振镜制造技术

本技术公开了一种改进动态面形的MEMS振镜，包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔；本技术设置有多个磁铁，具备足够的驱动力，微镜背面具有多个多边形槽，在不影响结构强度的前提下实现减重，有效减少微镜增厚所带来的负面影响。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微机电领域，特别涉及一种改进动态面形的mems振镜。

技术介绍

1、mems振镜在激光共焦显微系统、光开关、投影显示、激光雷达等领域内有着广泛的应用，不同的使用场合对mems振镜的扫描频率、转动角度、光学分辨率、抗震能力和镜面面形等性能参数有着严格地要求，尤其是激光雷达上的应用，当mems振镜在高速、大扭转角度转动过程中，镜面不平整度与所反射光束最小波长量级相当时，产生的反射光束波前像差就会严重降低其可获得的光学效率；通常反射镜面静态形变产生的像差可以通过相应的光学系统获得补偿，然而由于高速转动引起的镜面动态形变却无法通过静态的光学元件获得校正，且反射面越大动态形变越严重，为此对于mems振镜来说，增加反射面的厚度可以减小镜面的动态形变，但是纯粹地增加镜面厚度，会导致镜面质量增加，转动惯量增加，所需要的驱动力增加，或者转动角度和频率降低等负面影响，即其他技术参数受限，无法在激光雷达等领域实际应用。

技术实现思路

1、本技术的目的在于，提供一种改进动态面形的mems振镜。本技术设置有多个磁铁，具备足够本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔。

2.根据权利要求1所述的改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：所述多边形槽(7)为正六边形槽，且各脊线(8)相连形成蜂窝状。

3.根据权利要求1所述的改进动态面形的MEMS振镜，其特征在于：所述转动框架(5)包括设置与固定板(4)中部的圆形开口(9)，圆形...

【技术特征摘要】

1.一种改进动态面形的mems振镜，其特征在于：包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔。

2.根据权利要求1所述的改进动态面形的mems振镜，其特征在于：所述多边形槽(7)为正六边形槽，且各脊线(8)相连形成蜂窝状。

3.根据权利要求1所述的改进动态面形的mems振镜，其特征在于：所述转动框架(5)包括设置与固定板(4)中部的圆形开口(9)，圆形开口(9)内设有经转轴转...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚庆新，
申请(专利权)人：上海科恒特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：