【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光雷达，特别涉及一种应用于激光雷达的mems微镜系统。
技术介绍
1、随着无人驾驶领域的高速发展，激光雷达技术以其高精度、快响应，成为无人驾驶领域必不可少的关键技术。激光雷达包括激光发射模块，激光扫描模块，激光接受模块，以及后处理算法模块。扫描模块分为机械旋转、flash、mems和opa四种扫描模式，其中以mems扫描模式以其可靠性高、成本低、可批量生产和分辨率高等特点，成为最落地的技术方案。mems微镜扫描模块多采用收发一体的方案，即激光的入射和出射都经历同一个mems微镜。常见的激光光路与mems微镜镜面的法线方向近似平行，即激光器入射光线与mems微镜镜面的法线方向呈一定角度入射至mems微镜镜面，经过mems微镜扫描旋转后出射，遇到物体反射回mems微镜镜面，再由探测器接收。这种模式下，发射器、扫描器、接收器的位置相对固定，极大地限制了激光雷达硬件架构的灵活性和空间利用率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于，提供一种应用于激光雷达的mems微镜系统。本技术将mems微镜装置与光路改变体封装为一体化模组的方式，可实现近似垂直于mems微镜镜面法线方向的全反射光路，实现了mems微镜系统的小型化和集成化。
2、本技术的技术方案：一种应用于激光雷达的mems微镜系统，其特征在于：包括发生器和接收器，所述发生器和接收器的前端设置有mems微镜封装模组；所述mems微镜封装模组包括mems微镜装置，mems微镜装置的前端设置有棱镜转接件；所述mems微镜装
3、上述的应用于激光雷达的mems微镜系统，所述棱镜转接件由第一框和第二框组成；所述第一框与mems微镜装置四周边沿胶合连接；所述第二框与第一三角棱镜的直角面四周边沿胶合连接。
4、前述的应用于激光雷达的mems微镜系统，所述发生器和接收器同轴设置。
5、前述的应用于激光雷达的mems微镜系统，所述第一三角棱镜的斜面与第二三角棱镜的斜面错位胶合。
6、前述的应用于激光雷达的mems微镜系统，所述mems微镜装置包括微镜座，微镜座的表面设置有pcb板，pcb板的两侧开设有扇形槽，扇形槽中设置有磁铁；所述磁铁的上表面设有垫片；所述垫片之间设置有微镜架，微镜架的中部设有微镜；所述微镜架的背部开设有线圈槽，线圈槽内设有与pcb板连接的线圈；所述微镜架的下方设有对称设置的磁芯。
7、前述的应用于激光雷达的mems微镜系统，所述微镜座的上端还设有接口模块；所述接口模块与所述pcb板连接。
8、前述的应用于激光雷达的mems微镜系统，所述微镜架的对角分别位于两块垫片之上。
9、与现有技术相比，本技术通过将mems微镜装置与光路改变体封装为一体化模组的方式，可实现近似垂直于mems微镜镜面法线方向的全反射光路。本技术的光路改变体利用两块全反射的三角棱镜胶合而成，形成入射和出射的全反射体，而后与mems微镜封装于封装管壳当中。该模组可直接改变光路路径，打破激光发射模块、激光扫描模块、激光接收模块三者相对位置固定对激光雷达系统架构的限制。进一步地，本技术的发生器和接收器可以同轴设置，进而减少了装置的体积，降低装备精度的要求，提升误差的容忍度，提升信噪比，获得更远的探测距离。本技术的第一三角棱镜的斜面与第二三角棱镜的斜面可以进行错位胶合，方便进行入射光线的调整。本技术还进一步的优化了mems微镜装置的结构，实现mems微镜装置的小型化，封装化。
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1.一种应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：包括发生器(1)和接收器(2)，所述发生器(1)和接收器(2)的前端设置有MEMS微镜封装模组(3)；所述MEMS微镜封装模组(3)包括MEMS微镜装置(4)，MEMS微镜装置(4)的前端设置有棱镜转接件(5)；所述MEMS微镜装置(4)经棱镜转接件(5)连接有由第一三角棱镜(6)和第二三角棱镜(7)胶合而成的光路改变体，其中棱镜转接件(5)与第一三角棱镜(6)的直角面连接，第一三角棱镜(6)的斜面与第二三角棱镜(7)的斜面相胶合。
2.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：所述棱镜转接件(5)由第一框(8)和第二框(9)组成；所述第一框(8)与MEMS微镜装置(4)四周边沿胶合连接；所述第二框(9)与第一三角棱镜(6)的直角面四周边沿胶合连接。
3.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：所述发生器(1)和接收器(2)同轴设置。
4.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：所述第一三角棱镜(6)的斜面与第二三角
5.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：所述MEMS微镜装置(4)包括微镜座(10)，微镜座(10)的表面设置有PCB板(11)，PCB板(11)的两侧开设有扇形槽(12)，扇形槽(12)中设置有磁铁(13)；所述磁铁(13)的上表面设有垫片(14)；所述垫片(14)之间设置有微镜架(15)，微镜架(15)的中部设有微镜(16)；所述微镜架(15)的背部开设有线圈槽(17)，线圈槽(17)内设有与PCB板(11)连接的线圈(18)；所述微镜架(15)的下方设有对称设置的磁芯(19)。
6.根据权利要求5所述的应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：所述微镜座(10)的上端还设有接口模块(20)；所述接口模块(20)与所述PCB板(11)连接。
7.根据权利要求5所述的应用于激光雷达的MEMS微镜系统，其特征在于：所述微镜架(15)的对角分别位于两块垫片(14)之上。
...【技术特征摘要】
1.一种应用于激光雷达的mems微镜系统，其特征在于：包括发生器(1)和接收器(2)，所述发生器(1)和接收器(2)的前端设置有mems微镜封装模组(3)；所述mems微镜封装模组(3)包括mems微镜装置(4)，mems微镜装置(4)的前端设置有棱镜转接件(5)；所述mems微镜装置(4)经棱镜转接件(5)连接有由第一三角棱镜(6)和第二三角棱镜(7)胶合而成的光路改变体，其中棱镜转接件(5)与第一三角棱镜(6)的直角面连接，第一三角棱镜(6)的斜面与第二三角棱镜(7)的斜面相胶合。
2.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的mems微镜系统，其特征在于：所述棱镜转接件(5)由第一框(8)和第二框(9)组成；所述第一框(8)与mems微镜装置(4)四周边沿胶合连接；所述第二框(9)与第一三角棱镜(6)的直角面四周边沿胶合连接。
3.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的mems微镜系统，其特征在于：所述发生器(1)和接收器(2)同轴设置。
4.根据权利要求1所述的应用于激光雷达的mems微...
【专利技术属性】
技术研发人员：奚庆新，
申请(专利权)人：上海科恒特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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