温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种改进动态面形的MEMS振镜，包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均...
该专利属于上海科恒特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海科恒特科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。