本发明提供了一种晶圆研磨头已经晶圆吸附方法，所述晶圆研磨头包括研磨头本体以及环绕在研磨头本体外围的固定装置；所述固定装置包括紧密设置的第一圆环和第二圆环；所述研磨头本体、第一圆环与第二圆环保持同心；所述研磨头本体上设置有第一气路以及第二...

本发明提供了一种提高晶圆边缘区域研磨率的方法，所述方法包括：采用化学机械研磨设备进行晶圆的研磨，所述化学机械研磨设备中的研磨垫呈双层结构，所述研磨垫的上层结构与晶圆表面接触，所述晶圆由保持环环绕并固定，晶圆的边缘区域与研磨垫、保持环均有...

本发明提供了一种抗划伤的保持环，所述抗划伤的保持环包括刚性环和弹性环；所述弹性环包括第一粘接面和研磨面；所述刚性环包括第二粘接面和固定面；所述第一粘接面和第二粘接面通过粘结剂紧贴固定；所述研磨面上等间距设置有至少三个呈倾斜设置的条状凹槽...

本发明提供了一种快速检测寿命的保持环及其使用方法，所述快速检测寿命的保持环包括刚性环和弹性环；所述弹性环包括第一粘接面和研磨面；所述刚性环包括第二粘接面和固定面；所述第一粘接面和第二粘接面通过粘结剂紧贴固定；所述研磨面的外壁上设置有刻度...

本实用新型提供了一种用于保持环加工的定位夹具，所述的用于保持环加工的定位夹具包括底座和设置于所述底座表面的环形凸台，所述底座中心设置有导向组件，所述导向组件远离底座中心的一端与环形凸台内壁相抵，所述环形凸台的表面设有至少两个定位销，将保...

本发明提供了一种化学机械研磨用保持环及其粘接方法，所述粘接方法包括：将保持环的两部分结构的表面进行喷砂处理，然后进行清洗；将清洗后的保持环的两部分结构的粘接面上涂抹粘接剂，然后将两者的粘接面扣合并固定；将固定后的保持环进行加热固化，得到...

本实用新型涉及一种振动刀具，包括偏心组件和传动件；所述偏心组件包括第一偏心轮和第二偏心轮；所述第一偏心轮和驱动电机相连接；所述第二偏心轮为纺锤形；所述纺锤形中最小内角的一端和所述第一偏心轮相连接；所述传动件包括依次连接的第一连接件、弹性...

本实用新型涉及一种机械化学研磨用构件的加工夹具，为空心圆形结构；所述空心圆形结构的上表面设置有至少3个定位块；所述定位块的上表面设置有沿径向分布的凹槽，所述凹槽内沿径向设置至少2个孔道；所述孔道包括依次设置的第一孔和第二孔；所述第一孔的...

本实用新型提供一种密封圈及包含其的化学机械抛光装置，所述密封圈呈圆环型；所述密封圈自外环向内环依次包括第一平部、第一凸部和第二平部；所述第一凸部为倒U型凸起，所述倒U型凸起下部中空；所述第一平部靠近所述第一凸部的凸起侧设置有第一凹槽；所...

本实用新型涉及一种机械化学研磨中研磨头载体构件，为空心圆环结构，上部从中心线沿径向依次设置有第一环形台阶、第二环形台阶、第三环形台阶和第四环形台阶；第二环形台阶上设置第一凹孔，第四环形台阶上依次设置有第一环形凹槽和第二环形凹槽，凹槽之间...

本实用新型涉及一种机械化学研磨头中心构件，为空心圆环结构，上表面依次设置有第一凹槽、凸部和第四凹槽，沿径向以圆心为基准；第一凹槽内设置有第一凹孔、第二凹孔及第三凹孔；凸部表面设置有环形凹槽，环形凹槽上设置有第四凹孔和第五凹孔；第一凹孔和...

本实用新型涉及一种机械化学研磨垫运输结构，包括底板和设置于所述底板底面的滚动组件；所述底板的上表面边缘设置有支撑件；所述支撑件用于固定运载板；所述运载板表面设置有缓冲层；所述缓冲层包括依次设置的第一橡胶层、麻层、硅胶层、弹性结构层和第二...

本实用新型提供了一种保持环研磨装置，所述保持环研磨装置包括操作机台、顶盖、支撑组件、旋转传动组件、研磨盘以及研磨垫；所述顶盖设置于操作机台上方，通过支撑组件支撑固定，所述支撑组件垂直设置于操作机台的边缘；所述旋转传动组件垂直并贯穿所述顶...

本实用新型涉及一种机械化学研磨中研磨头进气构件，为空心圆结构，下表面设置有圆形凹槽，圆形凹槽内设置有第一凸部，上表面设置有第二凸部，围绕所述第二凸部设置有至少6个沿径向分布的凹槽；第二凸部上设置有第三凸部；第一凸部、第二凸部和第三凸部的...

本实用新型涉及一种机械化学的研磨工装，包括真空吸盘、环形限位结构和研磨垫；环形限位结构设置于所述真空吸盘上，以中心线为基准；环形限位结构的外径等于真空吸盘的外径；研磨垫的设置于环形限位结构内；研磨垫的直径等于环形限位结构的内径；研磨垫对...

本实用新型提供了一种保持环背板研磨设备，包括旋转组件、传动组件、支撑组件和研磨头；所述支撑组件设置于旋转组件旁，所述支撑组件的上端设有传动组件；所述传动组件的下端连接有研磨头。本实用新型通过旋转组件与传动组件的设置实现自动研磨以及局部精...

本实用新型涉及一种用于机械化学研磨的吸附膜，为凹型圆结构；所述凹形圆结构的底面上设置有第一环形折部、第二环形折部、第一环形凹部和第二凹部；所述凹形结构的侧面上从顶端到底端依次设置有第一横部、第二横部和凸台所述第一环形折部包括垂直于底面设...

本发明提供了一种化学机械抛光保持环及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)粘结待加工保持环与背板，得到待加工组合件；(2)固定步骤(1)所得待加工组合件并进行找正处理；(3)对步骤(2)所得找正处理后的待加工组合件进行铣削处理；其...

本实用新型提供了一种用于化学机械研磨的研磨头，所述研磨头包括本体部、密封环、保持环、腔体室、吸附膜以及通道；所述本体部的下方依次连接有密封环和保持环，所述密封环和保持环围成的环形区域中设有吸附膜，所述本体部和吸附膜之间的区域为腔体室，所...

本发明提供一种不锈钢夹环的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将不锈钢原环置于夹持部件中，并依次经吃刀量为0.1～0.3mm的粗加工和吃刀量为0.1～0.2mm精加工，得到中间件；(2)步骤(1)所述中间件依次经一次清洗干燥、表面...