一种用于保持环加工的定位夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于保持环加工的定位夹具，所述的用于保持环加工的定位夹具包括底座和设置于所述底座表面的环形凸台，所述底座中心设置有导向组件，所述导向组件远离底座中心的一端与环形凸台内壁相抵，所述环形凸台的表面设有至少两个定位销，将保持环置于环形凸台表面并利用定位销限位，所述的导向组件用于保持环形凸台与保持环的同轴。本实用新型专利技术定位准确，操作简单，能够有效解决一体型PPS保持环加工过程中与车床主轴同心找正的问题。持环加工过程中与车床主轴同心找正的问题。持环加工过程中与车床主轴同心找正的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于保持环加工的定位夹具


[0001]本技术属于半导体
，涉及晶圆保持环的装夹，尤其涉及一种用于保持环加工的定位夹具。

技术介绍

[0002]化学机械研磨(CMP)是指通过化学反应和机械作用来研磨剥除沉积在芯片表面的多余的薄膜，使晶圆表面光滑平坦。为了防止晶圆在化学机械研磨时飞出，需要在化学机械研磨装置的运载头上使用保持环对晶圆进行固定和保护，避免晶圆受损或断裂。
[0003]聚苯硫醚(Polyphenylene sulfide，PPS)具有优良的耐高温、阻燃、均衡的物理机械性能，较高的稳定性以及优良的电性能等特点，广泛应用于电子电器、航空航天、汽车运输等领域，同样可用于制作一体型保持环。然而，一体型的PPS保持环韧性差、性脆且中粘度不稳定，因此在其加工过程中容易发生变形或松动的问题，导致保持环与车床主轴找正困难，严重影响加工的稳定性，进而导致保持环质量不达标，需利用有效的装夹工具对保持环进行固定。
[0004]CN211682397U提供了一种固定保持环锭材的夹具，包括：上夹具，所述上夹具开设弧形的第一卡槽；下夹具，所述下夹具开设弧形的第二卡槽，所述上夹具和所述下夹具对夹安装，所述第一卡槽和所述第二卡槽相对设置并共同组成限制保持环锭材的限位孔。
[0005]CN211759987U提供了一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具，所述的自定心夹具包括带凹槽的夹具底座，夹具底座的凹槽内设置有夹具体，夹具体的顶部为内锥面，紧贴所述的夹具体外侧套设有弹性体，弹性体的顶部为外锥面，所述弹性体的外锥面与夹具体的内锥面相匹配；所述的夹具体底部设置有与弹簧套连接的驱动部件，所述驱动部件用于带动弹性体上下移动；所述的夹具底座上还设置有沿弹性体外周环设的定位件，晶圆保持环沿定位件外周放置，随着驱动部件带动弹性体下移，弹性体顶部的外锥面受到挤压推动定位件外扩，内撑卡紧晶圆保持环。
[0006]CN106341004A公开了一种屏蔽电机转子保持环加工及安装工艺，屏蔽电机转子保持环加工及安装工艺，包括以下步骤：a.保持环锻件在车床上车一端端面及外圆；b.将保持环安装到配制的保持环加工胎具的胎体上，并通过小压板用螺钉压紧；c.将保持环加工胎具装夹到车床上，精车内孔；d.将保持环加工胎具装夹到磨床上，磨削内孔；e.将加工后的保持环安装到保持环热套工具内，并随保持环热套工具一起送进炉内加热，加热后进行热套到转子铜端环，冷却，安装位置检查；f.对热套到转子上的保持环装夹到卧车上，找正，加工保持环已达到外圆轮廓尺寸。
[0007]现有的研究致力于有效固定保持环以及准确定位，如何提高保持环定位的准确度，并解决保持环与车床主轴找正困难的问题，避免保持环装夹过程中发生损坏或断裂，是设计一款有效的定位夹具是最主要关注的方面。

技术实现思路

[0008]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种用于保持环加工的定位夹具，定位准确，操作简单，能够有效解决一体型PPS保持环加工过程中与车床主轴同心找正的问题。
[0009]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0010]本技术提供了一种用于保持环加工的定位夹具，所述的用于保持环加工的定位夹具包括底座和设置于所述底座表面的环形凸台，所述底座中心设置有导向组件，所述导向组件远离底座中心的一端与环形凸台内壁相抵，所述环形凸台的表面设有至少两个定位销，将保持环置于环形凸台表面并利用定位销限位，所述的导向组件用于保持环形凸台与保持环的同轴设置。
[0011]本技术提供的一种用于保持环加工的定位夹具，定位准确，操作简单，通过定位销对保持环进行限位，利用导向组件保证环状凸台、保持环、底座与车床主轴之间同心同轴，能够有效解决一体型PPS保持环加工过程中与车床主轴同心找正的问题。
[0012]需要说明的是，本技术对于环状凸台的材质不做特殊要求或具体限定，示例性地，基于材料强度考虑可采用铝制凸台。
[0013]作为本技术一个优选技术方案，所述的用于保持环加工的定位夹具还包括至少两个压板，所述压板表面开设通槽，所述保持环表面开设通孔，所述环形凸台表面开设固定槽，将螺钉依次穿过所述的通槽与通孔，并插入所述固定槽内。
[0014]作为本技术一个优选技术方案，所述的固定槽内设有内螺纹，所述螺钉的外螺纹与所述内螺纹啮合，实现保持环的固定。
[0015]作为本技术一个优选技术方案，所述环形凸台靠近保持环一侧的表面分为内侧的固定区和外侧的支撑区，所述的固定区内均匀的开设有固定孔，所述支撑区的表面平滑。
[0016]需要说明的是，所述的保持环为环形体结构，靠近环状体外缘一侧的表面开设有车床加工形成的环形凹槽，所述的环形凹槽与环状体外缘之间留有一定的空间，所述通孔则均匀的设置于环状体的内侧表面。本技术中环形凸台的宽度大于保持环的宽度，能够避免在加工过程中发生保持环断裂的风险，其中固定孔与保持环通孔的位置相对应，表面平滑的支撑物用于支撑保持环。
[0017]作为本技术一个优选技术方案，所述的导向组件包括轴向杆和至少两个等长的周向杆，所述的轴向杆的一端固定于底座中心，另一端分别连接所述的周向杆。
[0018]作为本技术一个优选技术方案，所述周向杆远离轴向杆的一端设置有滚轮，所述的滚轮与保持环的部分内壁相抵，并撑起保持环进行定位。
[0019]作为本技术一个优选技术方案，所述环形凸台的内壁设有环形凸起，所述的环形凸起用于支撑滚轮。
[0020]需要说明的是，本技术中的向组件包括轴向杆和至少两个等长的周向杆，周向杆远离轴向杆的一端设置有滚轮，将保持环置于环形凸台表面，再利用等长的周向杆沿多个方向撑起保护环，使得保持环距离环形凸台中心的距离均相等，即保证保持环与环形凸台的同心度；此外，周向杆与保持环接触的一端设置滚轮能够避损坏保持环表面，同时滚轮能够在环形凸起进行360
°
的转动，均匀的撑起保持环，保证同心度。
[0021]作为本技术一个优选技术方案，所述的环形凸台与底座同轴设置。
[0022]作为本技术一个优选技术方案，所述的环形凸台与定位销一体成型，所述环形凸台的表面设有位置相对称的两个定位销。
[0023]作为本技术一个优选技术方案，所述底座远离环形凸台的一侧表面可拆卸连接于工作台。
[0024]需要说明的是，本技术中提供的底座可与车床三爪卡盘同轴固定，随车床主轴的转动而转动，同时环形凸台与底座同轴设置，在保持环的铣槽或加工过程中，维持保持环、环形凸台、底座与车床三爪卡盘的同心度，避免保持环变形或偏离中心，进而导致加工质量不达标。
[0025]示例性地，本技术提供的用于保持环加工的定位夹具的使用方法如下所述：
[0026]首先将环形凸台的定位销对准通孔并插入保持环内进行限位，周向杆一端的滚轮分别置于环形凸台内壁的环形凸起上，并与保持环的部分内壁相抵，保证保持环与环形凸台同心，再将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于保持环加工的定位夹具，其特征在于，所述的用于保持环加工的定位夹具包括底座和设置于所述底座表面的环形凸台，所述底座中心设置有导向组件，所述导向组件远离底座中心的一端与环形凸台内壁相抵，所述环形凸台的表面设有至少两个定位销，将保持环置于环形凸台表面并利用定位销限位，所述的导向组件用于保持环形凸台与保持环的同轴。2.根据权利要求1所述的用于保持环加工的定位夹具，其特征在于，所述的用于保持环加工的定位夹具还包括至少两个压板，所述压板表面开设通槽，所述保持环表面开设通孔，所述环形凸台表面开设固定槽，将螺钉依次穿过所述的通槽与通孔，并插入所述固定槽内。3.根据权利要求2所述的用于保持环加工的定位夹具，其特征在于，所述的固定槽内设有内螺纹，所述螺钉的外螺纹与所述内螺纹啮合，实现保持环的固定。4.根据权利要求2所述的用于保持环加工的定位夹具，其特征在于，所述环形凸台靠近保持环一侧的表面分为内侧的固定区和外侧的支撑区，所述的固定区内均匀的...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，惠宏业，王学泽，李易磊，
申请(专利权)人：上海江丰平芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：