本发明属于晶体生长领域，具体来说涉及一种碳化硅衬底的优化方法。该方法首先在物理气相传输法设备上进行衬底的轻微腐蚀处理，在缺陷处产生凹坑和沟槽；然后在化学气相反应法设备上进行侧向外延生长，填补凹坑和沟槽，封闭衬底缺陷。采用本发明所述的方法...

本发明属于新材料加工技术领域，发明人提供了一种多坩埚液相外延SiC晶体的方法，其采用了一种多坩埚的承载装置，通过石墨绳的牵制让SiC籽晶固定在坩埚底部浸渍在熔融液中生长，由此既能给SiC晶体的生长提供了相对稳定的生长环境，通过熔融液的流...

本发明公开了一种液相法生长碳化硅晶体的装置及方法。其包括石墨坩埚、与上下运动机构连接的籽晶轴，所述石墨坩埚外设有保温层，所述石墨坩埚包括坩埚体、盖在坩埚体上端的坩埚盖，所述籽晶轴包括头部贴有籽晶的石墨轴，其特征在于：在所述坩埚体上端的内...

本实用新型涉及一种用于高纯碳化硅单晶的装置，属于单晶生长领域。其包括生长室，其特征是：所述生长室由上密封法兰、石英管、下密封法兰组成，所述生长室的下部连接有大气隔离室，大气隔离室上设置有操作窗口，感应加热器通过支架设置在大气隔离室上生长...

本方法通过对PVT法碳化硅晶体生长过程中使用的高纯石墨件及保温材料经过一系列的处理，去除或减少生长过程中的V、N、B、Al等致色掺杂元素，并且在生长过程中通入经过纯化的、以惰性气体为载体的、含有一定量的氯基气体和含氢气体的混合气体，在生...

本实用新型涉及一种用于生长大尺寸高纯碳化硅单晶的装置，属于单晶生长领域。一种用于生长大尺寸高纯碳化硅单晶的装置，包括生长室，其特征是：所述生长室采用下开盖方式，生长室的外部设置可上下移动的感应加热器，所述生长室的下部连接有大气隔离室，大...

本实用新型属于晶体生长领域，涉及一种快速生长无包裹物碳化硅单晶的生长室，生长室内壁顶部设有籽晶托，生长室内部套有与生长室同轴且顶端低于生长室顶端的内筒，所述的内筒由石墨滤网围绕而成；内筒顶端外沿与生长室内壁之间设有石墨滤网；所述的石墨滤...

本实用新型属于晶体生长领域，涉及一种无包裹物碳化硅单晶生长室，生长室内壁顶部设有籽晶托，生长室内部两侧壁上分别设有相互匹配的定位滑块，定位滑块上至少设有一级石墨滤网，所述的石墨滤网上表面和下表面均涂有耐高温金属化合物涂层；所述的石墨滤网...

本发明公开了一种红色氧化铝宝石单晶的生长方法，先将氧化铝与致色剂氧化铬或者碳酸铬预熔化为混合均匀的坯料，然后将坯料放入生长腔内的坩埚中，用氩气作为保护气，根据氧化铬或者碳酸铬的物化性能，确定生长腔的气氛和具体的降电压速率，经过泡生法的基...

本发明涉及一种蓝宝石单晶的生长方法，属于晶体生长技术领域。本发明首先对原料进行预熔化，提高了原料的纯度和密度，减少了晶体中可能出现的气泡和色心等缺陷，并且通过对不同部位冷却水的调整以及对引晶过程中的调整，将冷心位置与晶体结晶位置重合，从...

本发明公开了一种蓝色氧化铝宝石单晶的生长方法，先将氧化铝与致色剂氧化铁和氧化钛预熔化为混合均匀的坯料，然后将坯料放入生长腔内的坩埚中，用氩气作为保护气，根据氧化铁和氧化钛的物化性能，确定生长腔的气氛和具体的降电压速率，经过泡生法的基本工...

本发明公开了一种彩色氧化铝宝石单晶的生长方法，先将氧化铝与致色剂预熔化为混合均匀的坯料，然后将坯料放入生长腔内的坩埚中，用氩气作为保护气，根据致色剂的物化性能，确定生长腔的气氛和具体的降电压速率，经过泡生法的基本工艺过程最终得到彩色氧化...

本发明涉及一种高纯半绝缘碳化硅单晶的方法及装置，属于单晶生长技术领域。本发明采用特定装置将生长SiC单晶用坩埚及保温材料进行预处理，并在单晶生长过程中引入特定的气体，有效减少SiC单晶中的施主杂质N、受主杂质B及金属离子杂质，提高了电阻...

本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒滚圆的快速定位夹具，该夹具包括相互连接的管I和管II，管I和管II同心，管I的内径与蓝宝石晶棒直径相同；管II的内径与夹持轴直径相同。本实用新型结构简单，实现了晶棒与夹持轴之间同心度的快速调节，有效避免了崩边...

本实用新型提供了一种用于湿法腐蚀碳化硅晶片的装置，在炉膛底部设置有坩埚，坩埚中存放腐蚀剂，在坩埚底部设置有镍网，碳化硅晶片放置在镍网上；坩埚的外部周围设置有保温层，保温层的内部设置有加热层，用以为坩埚提供热量；热电偶从炉膛的外部，依次穿...

本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒滚磨加工快速装夹装置，包括基座，基座上方固定有导轨，导轨上方活动连接工作台，工作台通过至少三个升降杆连接其上方的V型块，至少一个升降杆带有高度控制机构，基座一侧设置有锁紧并调节V型块下降的四杆机构。本实用新型...

本实用新型涉及一种用于不规则物体的装夹工装，包括基座和安装在基座上的夹具，所述的夹具包括至少两个卡爪，每个卡爪包括与基座连接的外爪和设置在外爪内的内爪，内爪与穿出外爪的传动杆连接，内爪内设置带有进出口的囊体。本实用新型采用夹具开合机构预...

本实用新型涉及一种不规则物体装夹工装，包括基座和安装在基座上的夹具，所述的夹具包括至少两个卡爪，卡爪内设置带有进出口的囊体。本实用新型采用液压作为动力驱动活动卡爪，由于不规则物体与辅助工作台产生静摩擦力，从而带动辅助工作台移动。这样，更...

本实用新型属于蓝宝石加工机械领域，具体涉及一种蓝宝石晶棒A边定向磨削装置。该装置包括框架和卡盘，卡盘设于框架上方，框架上沿晶棒放置方向设有两个调节螺栓，调节螺栓与卡盘下部接触连接；卡盘上设有紧固螺栓。本实用新型结构简单，使用调节螺栓代替...

本实用新型公开了一种蓝宝石晶锭定向、切平面、掏棒一体化固定装置，包括基座，基座中心设置有支撑轴，所述支撑轴与调节板中心活动连接，所述调节板通过对称设置的螺栓Ⅰ与样品台螺纹连接，所述基座上固定设置有穿过调节板的对称设置的螺栓Ⅱ，与螺栓Ⅱ相...