本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并...

本发明涉及串列形式的薄膜蒸镀系统，提供一种通过固定并支持基片而实现垂直蒸镀、并移送中使微细粒子的影响最小而可以充分确保掩模板平面度的校正系统、垂直型盘移送装置和具有该装置的蒸镀装置。本发明的解决手段为包含：垂直固定基片（１０）的基片盘（...

一种遮蔽掩模的附着方法，在使遮蔽掩模与垂直配置的掩模框邻接，并施加拉力的状态下，通过在掩模框上焊接而进行附着，预先反映向垂直方向的垂下，防止掩模附着后的图案的变形，可预先确认可否校正定位。该遮蔽掩模的附着方法包括：垂直配置掩模框的步骤；...

一种具有稳定沉积速度和高重现性的沉积源，以及一种包括沉积源的沉积设备，其中该沉积源包括：具有线形开孔部分的加热室；和包括多个孔并与加热室线形开孔部分相连的盖。盖上形成的孔之间的距离沿加热室的线形开孔部分的长边方向变化。盖上形成的孔的数量...

一种支撑加热坩埚的装置，包括支撑台和防污盘，支撑台的上表面形成有许多孔洞，防污盘分布于支撑台的各个孔洞入口处，并且具有相对于孔洞的开放部分以及沿孔洞内壁延伸的遮蔽部分。

一种多真空蒸镀装置及其控制方法。真空蒸镀装置包括多个蒸发源、适合旋转该多个蒸发源的旋转部件和适合在任何时候遮挡所述多个蒸发源中除了一个以外的其它所有蒸发源的涂镀挡板，所述多个蒸发源中的每一个都包括一个壳体、一个设置在所述壳体内的坩锅、在...

本发明提供了一种用于原位多晶薄膜生长的方法。催化剂增强化学气相沉积（ＣＥＣＶＤ）装置被用于使多晶硅薄膜生长。不需要后续的退火或脱氢工艺。该方法包括排尽室内气体以形成真空室，然后净化真空室并引入催化剂。然后在真空室内放置基底，并将反应气体...

本发明公开了一种用于沉积多晶硅且不需要单独的后续退火工艺的ＣＶＤ装置，该ＣＶＤ装置包括：室，用于在基底上形成薄膜；喷头，位于室的上部，以将反应气体注入到基底上；分配器，形成有分配孔，用来均匀地分配反应气体；催化剂热丝单元，用来加热和分解...

本发明公开用于无机层的沉积源和用于控制其热源的方法，通过使为达到稳定的沉积速率所需的时间最少，能够提高沉积效率、防止喷嘴的凝结，和／或精确地控制温度。该沉积源包括：具有用于施加热量到该坩埚的加热源的加热单元，用于隔绝从加热单元发出的热量...

本发明提供一种用于沉积有机层的装置和一种用于控制该装置的加热单元的方法。该装置包括设置于沉积室内、用于容纳蒸发材料的坩埚。该装置还包括加热单元，其具有用于加热该坩埚的第一和第二热源。壳体隔绝从加热单元发出的热量，外壁固定该坩埚。喷嘴喷射...

本发明公开一种线型沉积源，该沉积源能够通过使用板型加热源来提高加热效率并且降低加热温度，和／或能够通过在一个壳体中包括一个具有冷却水管线（或者通道）的冷却套来提高冷却效率。所述线型沉积源包括：布置在一个沉积室中的坩埚，所述坩埚用于蒸发包...

本发明公开一种加热器和一种具有该加热器的汽相沉积源，通过确保熔化罐的温度均匀性，能够在板上镀均匀厚度的材料。该加热器设置在一个沉积装置的熔化罐的上侧或下侧至少之一上，用于加热所述熔化罐。该加热器包括复数个有不均匀的节距的弯曲。该加热器中...

本发明提供了一种蒸发源部件和一种使用该部件的真空沉积装置，该真空沉积装置包括真空室、坩锅、加热器和位于坩锅内部的多层内板，其中，多层内板中的各层具有至少一个孔，从而蒸发材料可从坩锅底部穿过多层内板排到真空室中。

本发明公开了一种蒸发源和用于沉积薄膜的方法，该蒸发源包括：熔罐，具有用于放置沉积材料的预定空间和至少一个遮挡件，遮挡件位于熔罐内部，并与所述预定空间平行，以将熔罐划分成多个通道；加热单元；至少一个喷嘴，与熔罐流体连通，喷嘴具有多个喷口。

提供了一种用于平板显示器的薄膜沉积的掩模框架组件及使用该组件的沉积设备，包括设置有具有多个开口的图样部分的图样掩模；与图样掩模的下边缘部分连接以支撑图样掩模的第一框架；和沿水平或竖直方向与第一框架连接的第二框架。用于薄膜沉积的掩模框架组...

本发明提供一种用于燃料电池的脱硫吸附剂及采用它的脱硫方法，所述脱硫吸附剂具有下面式１的结构，式中Ｍ↓［１］为选自碱金属，碱土金属，氢，铵，稀土金属，及过渡金属中的至少一种；４≤ｘ／ｙ≤５００，０≤ｚ／ｙ≤３，０＜ａ／（ｙ＋ｚ）≤１；及Ｍ...

一种含芴支链的蓝光发射化合物和一种采用该蓝光发射化合物作为显色剂的有机电致发光（ＥＬ）装置。这种含芴支链的蓝光发射化合物具有通式（１）。作为一种蓝光发射物质，通式（１）的化合物被用于一种发射效率得到改善的显示装置中作为显色剂。该有机电致...

一种黄色ＺｎＳ基无机发光材料，它通过采用改进的激活剂和共活化剂改进了其颜色坐标和亮度以供中压和低压显示装置之用，当激活剂的用量增加时，其颜色坐标（ｘ，ｙ）转移至黄色发射区，所以，ＺｎＳ：（Ａｕ或Ｃｕ），Ｉｎ无机发光材料能有利地用作各种显...

本发明提供了一种能够高效磷光发光的有机金属配合物以及一种使用该有机金属配合物的有机电致发光装置。适合用于形成有机电致发光装置的有机层的该有机金属配合物在４４０－６５０ｎｍ波长提供最大发光，而且当与绿光或红光发光材料混合时导致白色电致发光。

本发明提供一种具有至少一种芴结构和至少一种咔唑结构的有机电致发光化合物。所述化合物具有良好的电特性、光发射特性和电荷迁移能力，从而作为基质材料适用于所有颜色的荧光和磷光掺杂剂，包括红色、绿色、蓝色、白色等等，和作为电荷迁移材料。当使用包...