本发明涉及一种用于夹持至少一个物体的拾取装置，所述装置包括用于与该物体接触的夹持器(20)。夹持器包括：支撑件(24)，其包括板(42)，该板具有相对的第一表面和第二表面(60、62)，该第一表面和第二表面包括第一开口(84)和第二开口...

本发明涉及一种用于处理半导体衬底(60)的装置(50)，所述装置包括外壳(52)和用于将气态混合物供给到外壳中的至少一个回路(68、70)，所述外壳包含至少一个支撑件(54)，所述支撑件包括支撑半导体衬底的板(58)的堆叠，每个板具有支...