瑞晟鸿山东半导体科技有限公司专利技术

瑞晟鸿山东半导体科技有限公司共有8项专利

  • 本技术公开了一种安全可控尾气吸收塔,具体涉及尾气吸收塔技术领域,包括外壳体,所述外壳体的内部固定设有过滤机构一;所述过滤机构一包括风机,所述风机的一侧固定设有入风管,所述风机的另一侧固定设有排风管,所述风机的底部固定设有风机箱,所述风机...
  • 本技术公开了一种石墨高度纯化装置,具体涉及石墨提纯技术领域,包括箱体,所述箱体的顶部开设有输料口,所述输料口内部固定设有输料管,所述输料管的一侧固定设有截止阀一,所述输料管一端固定设有储料仓,所述储料仓的内壁两侧设置有多个挡板槽,所述储...
  • 本发明提供一种利用硅烷气制备单晶硅的方法,该方法包括以下步骤:步骤S1、将硅烷加热分解为硅,并熔化为液体硅;步骤S2、开启单晶炉,使其加热至1400~1425℃;步骤S3、在保温情况下,将液体硅通入单晶炉的石英坩埚中,同时加入掺杂剂,所...
  • 本技术公开了一种碳化硅沉积炉进气装置,具体涉及沉积炉领域,包括进气管,进气管底端连接有螺杆,螺杆上套接有第一螺母,第一螺母顶端设置有第二螺母,第一螺母和第二螺母之间夹持有分气锥,进气管上开设有三组螺孔,各螺孔内均旋插有螺杆,螺孔之间呈扇...
  • 本技术公开了一种新型尾气缓冲罐,具体涉及缓冲罐领域,包括安装座,安装座一侧内部开设有收纳仓,收纳仓内部开设有滑槽,滑槽内部设有固定块,固定块外侧套设有活动块,活动块一侧设置内部有活动轴,活动轴两端与活动块一端活动连接,活动轴外侧活动套设...
  • 本发明公开了一种三代半导体用碳化硅涂层工艺,具体涉及半导体涂层技术领域,包括S1、表面准备,S2、预处理,S3、显微检测,S4、涂料制备选取,S5、涂布过程,S6、成模定型,S7、固化,S8、表面处理,涂层固化后,利用抛光液加磨粒混合液...
  • 本发明公开了一种利用热
  • 本发明公开了一种连续式石墨纯化装置,具体涉及石墨纯化技术领域,包括定量纯化箱,所述定量纯化箱的内部转动连接有定量下排筒,所述定量下排筒的外壁呈圆环等距分布嵌入开设有多个定量承装槽,所述定量承装槽的内壁安装有定量下料机构;所述定量下料机构...
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